Wafer-Aligner

Präzision und Effizienz in der Halbleiterfertigung freischalten

Halbleiterbedürfnisse präzise erfüllen:

Das WHS-A Wafer Aligner Portfolio

Wafer Handling Systems (WHS) präsentiert das WHS-A Wafer-Aligner-Portfolio, eine Produktpalette, die sorgfältig entwickelt wurde, um die hochpräzisen Anforderungen der Halbleiterindustrie zu erfüllen, insbesondere bei Bulk-, Flat- und Notch-Ausrichtung. Diese Aligner sind integraler Bestandteil von Halbleiterprozessen, garantieren die Losintegrität, präzise Ausrichtung und Kanteninspektion und gewährleisten so die Herstellung von hochwertigen Halbleitern innerhalb der Grenzen von Reinraumumgebungen

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Aufrechterhaltung der Grundstücksintegrität

Ein entscheidender Aspekt der Halbleiterfertigung ist die Sicherstellung der Losintegrität, das Vermeiden von Fehlern und die Einhaltung einer einheitlichen Produktqualität. WHS-Aligner erleichtern dies, indem sie den Wafer-Schreiber drehen und so seine Identifikationsmarkierung am Rand des Wafers freilegen. Dies ermöglicht es den Betreibern, die richtige Charge von Wafern zu überprüfen und potenzielle Probleme in der Produktionslinie zu vermeiden.

Hochpräzisions-Ausrichtungstechnologie

Die Ausrichtung ist in der Halbleiterfertigung entscheidend und beeinflusst die Leistung und Funktionalität des endgültigen Halbleiterbauelements. WHS-Aligner – beispielhaft in den A1- und A3-Serien – liefern eine präzise Massenausrichtung während kritischer Prozesse wie Lithografie, Abscheidung und Radierung. Diese Aligner enthalten Kerben oder Flächen, die mit der Kristallgitterstruktur der Wafer ausgerichtet sind und so die korrekte Ausrichtung und optimale Ergebnisse garantieren.

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Kanteninspektion zur Qualitätssicherung

Die Kanteninspektion ist ein unverzichtbarer Schritt zur Identifizierung von Fehlern, die die strukturelle Integrität des Wafers beeinträchtigen und während der nachfolgenden Verarbeitung zu Bruch oder Ausfall führen können. WHS-Aligner ermöglichen eine makrografische Inspektion von Wafers, die unter spezieller Beleuchtung bedeckt sind, sodass Bediener Chips, Risse oder Unregelmäßigkeiten genau bestimmen können. Das Erkennen und Angehen dieser Probleme in dieser Phase verhindert kostspielige Produktionsverzögerungen und Verschwendung.

Verschiedene Aligner-Modelle für jeden Bedarf

WHS bietet eine vielfältige Auswahl an Aligner-Modellen an, um unterschiedlichen Kundenanforderungen gerecht zu werden. Die A1- und A3-Serie beispielsweise sind automatische Tischaligner, die für Wafer von 76 mm bis 200 mm geeignet sind. Diese Aligner sind mit programmierbaren Stopppositionen, benutzerfreundlichen Touchscreen-Displays und der Möglichkeit, nahtlos in Reinraumumgebungen zu funktionieren, und das alles mit einer bemerkenswerten Geschwindigkeit von +/- 1º

Die A2- und A4-Serien hingegen sind manuelle Tischaligner, die für die Ausrichtung von oben und unten über verschiedene Wafergrößen in Reinraum-Umgebungen verfiniert werden. Diese Aligner verfügen über antistatische Konstruktion, ESD-Sicherheitssteuerung und Schnellabschaltrollen für eine vereinfachte Wartung und Reinigung.

Die A6-Serie rundet das Angebot ab und bietet eine exonomische Lösung für 76 mm, 100 mm und 150 mm Wafer.

 

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WHS: Priorisierung von Qualität und Kundenzufriedenheit

WHS zeichnet sich durch sein Engagement für Reinraum-Kompatibilität, dauerhafte Technik und umfassende Branchenexpertise aus. Ihre Aligner sind sorgfältig mit reinraumkompatiblen Materialien konstruiert, was sowohl Langlebigkeit als auch erstklassige Leistung gewährleistet. Funktionalität hat Vorrang in ihrer Designphilosophie, wobei die Ästhetik erst nach der Perfektionierung der Werkzeuge berücksichtigt wird. WHS bemüht sich stets darum, seine Produkte im Einklang mit den Fortschritten der Technologien zu verbessern und strebt an, die bevorzugte Quelle für Substrat-Verarbeitungslösungen in der Halbleiterindustrie zu werden.