Anwendungen

Handhabung von Einzelwafern

• Allgemeines Werkzeug für die tangentiale Kantenhandhabung runder Substrate in manuellen Waferprozess-Labor-F&E-Anwendungen.
• Entwickelt für sicheres und geschütztes Halten von Wafern, was die Platzierung in einem chemischen Becherglas/Bad erleichtert, um sicherzustellen, dass Chemikalien sowohl die Vorder- als auch die Rückseite des Wafers erreichen.
• Die Greiferhöhe ermöglicht ein Eintauchen in bis zu 50 mm Flüssigkeit.
• Greifer können strategisch am Waferrand positioniert werden, und der Auslöser wird zum Anheben des Wafers von einer ebenen Fläche in das Werkzeug geöffnet.
• Greifer halten kurzzeitiger Einwirkung von bis zu 250 °C stand.

Rettung 

• Ideal zum Bergen von Wafern, die in einem Prozesswerkzeug oder einer Automatisierung festsitzen.
• Zur Entnahme von Wafern von einer CMP- oder Wafer-Polierplatte/Pad.

Der WHS-G3 ist ein präzisionsgefertigter, normalerweise geschlossener dreipunktiger mechanischer 4" (100 mm) Wafer-Pick, der für spezialisierte Wafer-Handhabungsanwendungen entwickelt wurde. Der WHS-G3 ist ein ideales Werkzeug sowohl für die Einzelwaferverarbeitung im Labor als auch für Wafer-Rettungsoperationen und bietet vielseitige Leistung in verschiedenen Umgebungen.

Der WHS-G3 ist mit Hochleistungsgreifern aus PTFE-Teflon® ausgestattet und hält aggressiven Chemikalien und Temperaturen von bis zu 250 °C für eine kurzfristige Exposition stand. Diese Langlebigkeit macht es geeignet für den Einsatz in Reinräumen und chemische Prozesse, bei denen der Wafer in Flüssigkeiten getaucht werden muss. Die Greifer mit einer Höhe von 50 mm ermöglichen ein sicheres Wafer-Handling und gewährleisten gleichzeitig ein vollständiges Eintauchen in chemische Bäder.

Das Werkzeug verfügt über einen einstellbaren Stoppmechanismus am Abzug, der es dem Bediener ermöglicht, die Federspannung für den schonenden Umgang mit dünnen und zusammengesetzten Wafern zu ändern. Sein ergonomisches Design sorgt für eine sichere Handhabung und Benutzerfreundlichkeit bei heiklen Vorgängen, wie z. B. dem Heben von Wafern von ebenen Oberflächen oder der Rettung von Prozesswerkzeugen und -geräten wie CMP-Polierern.

Der WHS-G3 wird in einer ISO9001-zertifizierten Umgebung hergestellt und ist CE-zertifiziert und erfüllt strenge internationale Standards für Qualität und Sicherheit. Seine robuste Konstruktion, gepaart mit präzisen Handhabungsfähigkeiten, macht ihn zu einem unverzichtbaren Werkzeug für Halbleiterlabore und Reinraumumgebungen, die eine sorgfältige und zuverlässige Wafer-Manipulation erfordern.

Optional ist ein Tischsockelhalter erhältlich, um das Werkzeug zwischen den Anwendungen organisiert und sauber zu halten.