Anträge:
- Ausbildung: Aluminium-Testwafer werden verwendet, um neue Bediener in Waferhandhabungstechniken zu schulen, sodass sie ihre Fähigkeiten üben und entwickeln können, bevor sie teurere und zerbrechlichere Produktionswafer handhaben.
- Automatisierung lehren: Aluminiumwafer werden häufig verwendet, um Roboterbewegungen in der Automatisierung zu lehren, so dass Ingenieure Roboterbewegungen mit langlebigen Aluminiumwafern testen und verfeinern können, bevor sie zu zerbrechlicheren und teureren Siliziumwafern übergehen.
- Schutz: Aluminiumwafer können als elektrostatische Schutz-Chuck-Wafer (PEC) verwendet werden, um zerbrechliche Wafer-Chucks in einer Prozesswerkzeugkammer abzudecken, wenn das Werkzeug einen Kammerreinigungszyklus durchläuft, um eine Beschädigung der empfindlichen Chucks während des Reinigungsprozesses zu verhindern.
Der WHS-W-601 ist ein 150 mm Aluminium-Testwafer mit flacher, blanker No-Finish-Beschichtung, 150 mm (+/-0,1 mm) x 0,8 mm dick, Aluminium wurde wärmebehandelt, um die kristalline Struktur widerstandsfähiger gegen Verformung und Verformung zu machen. Für den Einsatz in der Roboterschulung, im Wafer-Handling-Training, als Trägerwafer und für den Einsatz als elektrostatische Spannfutterabdeckung bei der Kammerreinigung.
