Anträge
- Allgemeine Verwendung: Vakuumstäbe werden verwendet, um Wafer aufzunehmen und von einem Ort zum anderen zu transportieren, ohne Partikel hinzuzufügen.
- Sortieren: Für manuelle Wafer-Sortieranwendungen ermöglichen Vakuumstäbe dem Bediener, Wafer sicher und präzise innerhalb einer übergeordneten Charge zu bewegen. Sie können auch verwendet werden, um Chargen miteinander zu kombinieren, Testwafer hinzuzufügen und beschädigte Wafer bei Bedarf zu ersetzen.
- Inspektion- Bediener können Vakuumstäbe verwenden, um einen Wafer aus einer übergeordneten Charge herauszuziehen und ihn unter spezieller Beleuchtung auf Defekte zu untersuchen. Damit wird sichergestellt, dass der Prozess erfolgreich war und der Wafer die geforderten Spezifikationen erfüllt
Das WHS-V2 ist ein vorverpacktes Vakuumstab-Set, das alles enthält, was für die sichere Handhabung von 76-100 mm dünnen oder zusammengesetzten Wafern mit einem Heimvakuum erforderlich ist. Die Montage umfasst: Spitze (WHS-V1-AP3CST), Stab (WHS-V2-SM), Spiralkabel (WHS-V3-CC), Halterung (WHS-V4-WM). Antistatische Konstruktion, > 800 mBar (23" Hg) empfohlen. ISO-Klasse 3
