3"- oder 4"-Kassettengriff der WHS-M2-Serie - Wafer Handling Systems hat speziell für Metallkassetten im WHS-M2-Stil fortschrittliche abnehmbare Kassettengriffe entwickelt, die die Sicherheit und Effizienz des Bedieners in Hochtemperaturumgebungen wie Öfen und Prozesskammern erhöhen. Diese Griffe wurden für den Einsatz an Bedienerarbeitsplätzen oder für die Abkühlung von Akklimatisierungsarbeitsflächen unmittelbar nach dem Backen entwickelt und können heiße Kassetten sicher in vertikaler Position des Wafers handhaben. Diese Griffe verfügen über ergonomische Pistolengriffe aus Kunststoff, die in Einzel- oder Doppelausführung erhältlich sind und eine bequeme und sichere Methode für die Handhabung von Prozesskassetten aus Aluminium bieten. Die Edelstahlplatte verfügt über einen Schnittstellenkanal, der eine sichere Verbindung mit der Kassette gewährleistet, um versehentliches Herunterfallen zu verhindern. Sie bestehen aus fortschrittlichen Reinraummaterialien und sind so konstruiert, dass sie thermischer Hitze standhalten und die Partikelablösung minimieren.