Anträge
- Allgemeine Verwendung: Vakuumstäbe werden verwendet, um Wafer aufzunehmen und von einem Ort zum anderen zu transportieren, ohne Partikel hinzuzufügen.
- Sortieren: Für manuelle Wafer-Sortieranwendungen ermöglichen Vakuumstäbe dem Bediener, Wafer sicher und präzise innerhalb einer übergeordneten Charge zu bewegen. Sie können auch verwendet werden, um Chargen miteinander zu kombinieren, Testwafer hinzuzufügen und beschädigte Wafer bei Bedarf zu ersetzen.
- Inspektion- Bediener können Vakuumstäbe verwenden, um einen Wafer aus einer übergeordneten Charge herauszuziehen und ihn unter spezieller Beleuchtung auf Defekte zu untersuchen. Damit wird sichergestellt, dass der Prozess erfolgreich war und der Wafer die geforderten Spezifikationen erfüllt
- Retten– Vakuumstäbe können verwendet werden, um verseilte Substrate von Kassetten, Pods und Prozesswerkzeugen zu entfernen, wenn die Automatisierung nicht leistungsfähig ist.
Der WHS-V7 ist ein tragbarer Hochleistungs-Tisch-Vakuumstab, der für das anspruchsvolle Wafer-Handling und die Verwaltung kleiner Geräte in Reinraumumgebungen entwickelt wurde. Mit seinem leistungsstarken Vakuum von 800 mBar (23,6" Hg) ist der WHS-V7 so konzipiert, dass er die strengen Anforderungen vollständiger Produktionsanwendungen erfüllt, was ihn ideal für schwere Aufgaben macht, die über die einfache Wafer-Rettung oder leichte Produktion hinausgehen. Sein tragbares, in sich geschlossenes Design bietet Unabhängigkeit von Vakuumleitungen und ermöglicht vollständige Mobilität und kontinuierlichen Betrieb in Umgebungen mit hoher Produktion.
Der WHS-V7 ist in mehreren Modellen erhältlich: WHS-V7-300 für 300-mm-Wafer, WHS-V7-200 für 200-mm-Wafer und das Basismodell WHS-V7 für die Benutzeranpassung mit verschiedenen Vakuumspitzen. Darüber hinaus enthält das Modell WHS-V7-SD Saugnäpfe und Adapter für kleine Geräte, die eine präzise Handhabung von Werkzeugen, Gehäusen, Optiken und anderen kleinen Komponenten ermöglichen. Diese Kompatibilität mit allen WHS-Staubsaugerspitzen und -adaptern gewährleistet die Anpassungsfähigkeit an eine Vielzahl von Anwendungen.
Mit einem Hochleistungsakku, der eine kontinuierliche Laufzeit von über 20 Stunden pro Ladung bietet, ist der WHS-V7 für den erweiterten Einsatz in Reinraumumgebungen optimiert. Das System verfügt über einen normalerweise offenen Vakuumfluss mit einer Auto-on-Pick-up-Funktion, die einen sofortigen Betrieb ermöglicht, wenn es aus dem Halter genommen wird, während eine automatische Abschaltung Energie spart, wenn das Werkzeug nicht verwendet wird.
Der fortschrittliche H14-HEPA-Filter fängt 99,99 % der 0,3-μm-Partikel auf und gewährleistet so die Kontaminationskontrolle gemäß den Reinraumstandards ISO 3 (FS209E Klasse 1). Das ESD-sichere Design, die ergonomische Konstruktion und die universelle Stromversorgungskompatibilität des WHS-V7 machen ihn zu einer idealen Lösung für das Wafer-Handling in der Produktion und für Anwendungen kleiner Geräte.
Gefertigt in einer ISO9001-zertifizierten und CE-zertifizierten Umgebung, setzt der WHS-V7 den Standard für Hochleistungs-Vakuumstäbe in anspruchsvollen Produktionsumgebungen.
