Der WHS Stack Shipper Vakuum-Greifer ist ein präzisionsgefertigtes Werkzeug, das speziell für das sichere Be- und Entladen von dünne, rückgeschliffene oder vollständig verarbeitete Wafer in Stapeln von Schiffscontainern oder Versender von Einzelwafer-Münzen. Im Gegensatz zu herkömmlichen Wafer-Handling-Werkzeugen verfügt dieser Greifer über einen größerer Kontaktring an der Vakuumspitze, um zu liefern Größere Oberflächenunterstützung, wodurch die Belastung empfindlicher Wafersubstrate während des Transfers minimiert wird.
Hergestellt aus hochreines Aluminium, bietet der Greifer ausgezeichnete Festigkeit, Steifigkeit und langfristige Haltbarkeit. Alle Wafer-Kontaktflächen sind mit inertes Polyimid (Kapton®) um sicherzustellen ESD-sichere Handhabung und verhindern jeglichen metallischen Kontakt mit empfindlichen Waferoberflächen. Dies nichtmetallische, antistatische Beschichtung ist ideal für fertige Wafer, die anfällig für Schäden durch selbst geringe elektrostatische Entladungen sind.
Der Design mit abgewinkelter Spitze verbessert die Ergonomie des Bedieners und erleichtert den Zugriff auf Wafer, die sich am Versender am Boden des Stapels—eine häufige Herausforderung bei herkömmlichen Vakuum-Greifern. Der Normalerweise offenes Vakuum Konfiguration sorgt für zuverlässiges Aufnehmen und Loslassen mit gleichmäßiger Kontrolle.
Entwickelt für den Einsatz mit 200-mm- und 300-mm-Waferunterstützt dieses Komplettsystem eine breite Palette von Substrattypen, darunter:
- Ultradünne rückgeschliffene Wafer
- Standard- oder dick gebondete Wafer
- Empfindlich verarbeitete Gerätewafer bereit für den Versand
Der WHS Stack Shipper Vakuum-Greifer ist vollständig antistatisch und statisch-ableitend, mit einem integrierten Erdungspfad, der eine sichere Entladung von der Waferoberfläche weg gewährleistet und Ihr Produkt vor unsichtbaren elektrostatischen Bedrohungen während der manuellen Handhabung schützt.
