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Kategorie
FOUP/FOSB-Auftakte
(1)
RSP150 Pod-Öffner
(2)
RSP200 Öffner für Pods
(2)
SMIF-Pod-Öffner
(2)
Material
Eloxiertes Aluminium
Typ der Kapsel
SMIF (E19.3 oder E19.4)
System
Manuelles System
Halbautomatisch
Material, Sockel
Eloxiertes Aluminium
Material, Deckelgestell
Edelstahl 316
Material, Führungen/Griff
Antistatisches Polyoxymethylen
Sauberkeit
ISO 3 (Klasse 1 FS209E)

SMIF-Pod-Öffner

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Manueller SMIF-Pod-Öffner (WHS-O7)
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Eloxiertes Aluminium
Edelstahl 316
Antistatisches Polyoxymethylen
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