Pod-Opener

Präzision und Effizienz in der Halbleiterfertigung freischalten

WHS-O-Pod-Öffner: Effizienz in der Halbleiterfertigung freischalten

In der Halbleiterindustrie ist die Aufrechterhaltung einer sauberen Umgebung entscheidend, um Produktqualität und Zuverlässigkeit sicherzustellen. WHS Wafer Handling Systems führt die WHS-O-Serie Pod-Öffner ein, die darauf ausgelegt sind, Pods und Träger zu öffnen, ohne Kontamination oder Schäden zu verursachen. Diese Pod-Öffner sind für einen präzisen Betrieb in Reinraumumgebungen konstruiert, mit Mechanismen, die die Partikelbildung minimieren und Beschädigungen der Pod-Zahnradmechanismen vermeiden.

P1004231
332-manuell-Foupfosb-Öffner-300-mm-WHS-O5-WHS

WHS-O5
Zugriff auf FOUP- und FOSB-Pods

Der WHS-O5 ist für den Zugriff auf 300mm Front Opening Unified Pods (FOUP) und Front Opening Shipping Boxes (FOSB) ausgelegt, wenn manuelle Wafer-Handhabung erforderlich ist. Obwohl es nicht üblich ist, Wafer manuell zu bewegen, ist dieser Pod-Öffner eine ideale Lösung, wenn es nötig ist. Das WHS-O5 schützt den Türmechanismus und ist so konstruiert, dass es extrem sauber ist. Die ergonomischen Pistolengriffe dienen als Stativ, um die Tür zu stützen, sobald sie vom FOUP entfernt wurde, sodass das innere Türband vom Tisch entfernt und frei von Verschmutzungen bleibt.

WHS-O1 und WHS-O3
Öffnen der RSP-Fadenkreuz-Pods

Die WHS-O1 und WHS-O3 sind dafür ausgelegt, Fadenmaskenhandhabungskapseln zu öffnen, insbesondere die RSP150 bzw. RSP200. Diese Pod-Öffner verfügen über eine statisch ableitende Konstruktion, einen nicht beschädigten Mechanismus und eine Edelstahl-Verlängerungsstangenplattform, um den Deckel beim Abnehmen vom Pod-Sockel zu platzieren und so die offenen Teile sauber zu halten. Dieser Ansatz hilft, die Partikelbildung zu reduzieren und Kontaminationen in sensiblen Bereichen zu verhindern. Die WHS-O1 und WHS-O3 sind portabel und einfach zu bedienen. Bietet eine vielseitige Lösung für Reinraumanwendungen.

323-manuell-rsp150-pod-öffner-whs-o1-whs
1108-P1004289

WHS-O7
Öffnen der 200mm SMIF-Pods

Der WHS-O7 ist darauf ausgelegt, 200 mm Standard Mechanical Interface (SMIF) Pods zu öffnen und bietet so eine kontrollierte und saubere Lösung für den Zugang zu Wafern in einem Reinraum. Dieser Pod-Öffner verwendet fortschrittliche Mechanismen, um ein unbeschädigtes Öffnen der Pods zu gewährleisten, das Kontaminationsrisiko zu verringern und die Lebensdauer der Pods zu verlängern. Sein ergonomisches Design und die wartungsarmen Eigenschaften machen es zu einem zuverlässigen Werkzeug für Halbleiterfertigungsprozesse mit 200-mm-SMIF-Operationen.

Entdecken Sie die WHS-O-Serie

Die WHS-O-Serie von Wafer Handling Systems bietet eine umfassende Palette von Pod-Öffnern, die die höchsten Industriestandards für Sauberkeit und Sicherheit erfüllen. Diese Pod-Öffner konzentrieren sich auf nicht beschädigte Mechanismen, einen reibungslosen Betrieb und minimale Partikelgenerierung, was sie ideal für Reinraumumgebungen macht. Entdecken Sie, wie die WHS-O-Serie Ihnen helfen kann, einen sichereren und effizienteren Pod-Öffnungsprozess in Ihren Halbleiterfertigungsprozessen aufrechtzuerhalten.