Handhabung von Fotomasken

Vorstellung der WHS-L-Serie

Hervorragende Handhabung von Fotomasken

Vorstellung der WHS-L-Serie

Was Präzision und Sorgfalt bei der Handhabung von Fotomasken angeht, führt WHS mit der WHS-L-Serie an. Die WHS-L1-, WHS-L2- und WHS-L3-Modelle sind für die hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie konzipiert und sind die ultimativen Werkzeuge zur Handhabung wertvoller Fotomasken und Absehen. Sie minimieren das Kontaminationsrisiko und verhindern Schäden durch elektrostatische Entladung (ESD) an kritischen Chromschichten, sodass Ihre Fotomasken makellos bleiben.

P1002349- 700x700jpg
P1002325-700x700

WHS-L1-Serie
Standard-Exzellenz

Die WHS-L1-Serie ist die bevorzugte Wahl für die meisten Fotomaskenhandhabungen und bietet einen Seitenprofil-Griff, der maximale Sicherheit gewährleistet. Dieses Standardwerkzeug positioniert Sie niemals direkt über der Maske, was das Kontaminationsrisiko verringert. Sein Öffnungs- und Schließmechanismus ist eingeschlossen und für präzise Bedienung und Sauberkeit ausgelegt und entspricht den höchsten Industriestandards.

WHS-L2-Serie
Spezialisierte Vielseitigkeit

Die WHS-L2-Serie ist für spezialisierte Anwendungen konzipiert, bei denen ein horizontaler Offset erforderlich ist. Dieses Werkzeug ist ideal, wenn der Zugriff auf die Maske vom Seitenprofil nicht möglich ist, da es Flexibilität für besondere Handhabungsanforderungen bietet. Sein Design ermöglicht die Platzierung von Masken in speziellen Trägern, Messwerkzeugstufen und Maskenreinigungsgeräten, was es zu einer ausgezeichneten Wahl für Anwendungen macht, in denen Standardwerkzeuge nicht hineinpassen.

P1002392-700x700
WHS-L3_CMYK-700x700

WHS-L3-Serie
Präzision für EUV-Masken

Die WHS-L3-Serie ist speziell für Extreme Ultraviolett (EUV)-Masken entwickelt. Mit vier flachprofiligen Grippern, die nahtlos mit EUV-Fadenkreuzpods verbunden sind, bietet das WHS-L3 eine sichere und stabile Manipulation dieser fortschrittlichen Masken. Er ist aus hochwertigen Materialien gefertigt und bietet Haltbarkeit, ESD-Sicherheit und ein kompaktes Design, das für effiziente Reinraumbetriebe geeignet ist.

 

Perfekt angepasste Anwendungen

Die WHS-L-Serie zeichnet sich in einer Vielzahl kritischer Anwendungen aus:

  • Transfer: Übertragen Sie Fotomasken sicher zwischen Lager- und Produktionsboxen, um sie vor Schäden zu schützen.
  • Inspektion: Führen Sie mit Zuversicht makrografische Inspektionen auf Barcode-IDs, Partikel, Chromfehler, Verunreinigungen oder Schäden am Pellicle-Rahmen durch.
  • Maskenaligner: Streamline-Photolithographie-Masken-Aligner Werkzeug zum Laden und Entladen
  • Metrologie: Vereinfachen Sie das Be- und Entladen für Mikroskope und andere Messgeräte, die bei der Maskeninspektion verwendet werden.
  • Reinigung: Handhabt Fotomasken während der Punktreinigung oder der Lösungsmittel-Unterwasserreinigung, ohne deren Integrität zu beeinträchtigen.
  • Maskenläden: Unsere Werkzeuge sind vertrauenswürdig in Fertigungs- und Maskenreparaturumgebungen und sorgen für einen sicheren und geschützten Umgang mit Masken.
     

Perfekt angepasste Anwendungen

Bei WHS legen wir Wert auf Präzision, Sauberkeit und Innovation in der Halbleiterherstellung. Unsere Werkzeuge zur Handhabung von Fotomasken verkörpern diese Prinzipien und bieten unvergleichliche Genauigkeit, Effizienz und Sorgfalt. Mit den WHS-L1-, WHS-L2- und WHS-L3-Serien können Sie Ihre Fotomaskenhandhabungsprozesse revolutionieren und Ihre Produktion auf die nächste Stufe heben. Hier beginnt Ihre Reise zu Exzellenz im Umgang mit Fotomasken.