Leistungsbeschreibung:
- Endeffektor: Kohlefaser / Backside Vacuum / Mapping
- ID-Lesegerät: Cognex oder IOSS; OCR, Barcode, Data Matrix
- Einrichtungen: 2 0- 240 VAC; Vakuum
- Kommunikation: SECS GEM oder Textdatenausgabe
- Zertifizierung: CE
Der WHS-T4 ist ein hochmoderner automatischer Wafersorter, der entwickelt wurde, um die Effizienz des Waferhandlings und der Sortierung zu verbessern. Der WHS-T4 ist in der Lage, 100-mm-, 150-mm- oder 200-mm-Wafer mit einer optionalen dualen 150-mm-/200-mm-Konfiguration zu verarbeiten und bietet Anwendern Flexibilität bei der Wafer-Verarbeitung, ohne dass Hardware-Modifikationen erforderlich sind. Benutzer können mühelos teilen, zusammenführen, komprimieren oder benutzerdefinierte Wafermischungen erstellen, indem sie Wafer anhand ihrer IDs sortieren, was es zu einem vielseitigen Werkzeug für Halbleiterfabriken macht.
Der WHS-T4 verfügt über zwei ergonomische Lastanschlüsse mit Kipptisch, einen Linearroboter und einen optischen Wafer-Notch/Flat-Aligner für eine präzise Sortierung. Das System umfasst einen Standard-ID-Leser, wobei Kunden die Wahl zwischen Lesegeräten der Marken Cognex oder IOSS für OCR-, Barcode- oder Data-Matrix-Erkennung haben. Die Kompatibilität mit der SECSGEM-Software erleichtert die Chargen- und ID-Verfolgung in der gesamten Fabrik und ermöglicht eine teilweise Fernsteuerung des Systems über ein MRP-System, wodurch eine nahtlose Integration in die Produktionsabläufe gewährleistet wird.
Trotz seiner fortschrittlichen Funktionen behält der WHS-T4 eine kompakte Stellfläche von nur 871 mm x 1700 mm x 373 mm bei und eignet sich ideal für Reinraumumgebungen mit begrenztem Platzangebot. Das System kann Wafer mit einer Dicke von 220 μm bis 1000 μm verarbeiten und unterstützt die automatische Sortierung in 25-Slot-Kassetten, mit optionalen Konfigurationen für 12-, 13- oder 26-Slot-Kassetten. Er verfügt außerdem über einen optionalen internen Wafer-Puffertisch für die Verarbeitung von 50-Wafer-Lots.
Dieses Werkzeug ist aus einer ESD-sicheren Konstruktion zum Schutz vor elektrostatischer Entladung gefertigt und bietet eine zuverlässige, leistungsstarke Wafersortierung. Hergestellt in einer ISO9001-zertifizierten und CE-zertifizierten Einrichtung, gewährleistet es eine robuste Leistung und langfristige Zuverlässigkeit in Halbleiterfertigungsumgebungen.
