Anträge

Handhabung von Einzelwafern

• Allgemeines Werkzeug für die tangentiale Kantenhandhabung von runden Substraten in der manuellen Waferprozess-Laborforschung und -entwicklung.
• Konzipiert für die sichere Aufbewahrung des Wafers, erleichtert die Platzierung in einem chemischen Becherglas/Bad, um sicherzustellen, dass die Chemikalien sowohl die Vorder- als auch die Rückseite des Wafers erreichen.
• Die Höhe des Greifers nimmt bis zu 50 mm Flüssigkeitseintauchen auf.
• Die Greifer können strategisch um die Waferkante herum positioniert und der Auslöser geöffnet werden, um den Wafer von einer ebenen Fläche in das Werkzeug zu heben.
• Die Greifer halten einer kurzzeitigen Einwirkung von bis zu 250 °C stand.

Retten  

• Ideal für die Rettung von Wafern, die in einem Prozesswerkzeug oder in der Automatisierung stecken geblieben sind.
• Zum Entfernen von Wafern aus einer CMP oder Waferpolierplatte/-pad.

Der WHS-G3 ist ein präzisionskonstruiertes, normalerweise geschlossenes dreipunktmäßiges mechanisches 6" (150 mm) Wafer-Pick, das für spezialisierte Waferhandhabungsanwendungen entwickelt wurde. Der WHS-G3 ist ein ideales Werkzeug sowohl für die Einzelwaferverarbeitung im Labor als auch für Wafer-Rettungsoperationen und bietet vielseitige Leistung in verschiedenen Umgebungen.

Der WHS-G3 ist mit Hochleistungsgreifern aus PTFE-Teflon® ausgestattet und hält aggressiven Chemikalien und Temperaturen von bis zu 250 °C für eine kurzfristige Exposition stand. Diese Langlebigkeit macht es geeignet für den Einsatz in Reinräumen und chemische Prozesse, bei denen der Wafer in Flüssigkeiten getaucht werden muss. Die Greifer mit einer Höhe von 50 mm ermöglichen ein sicheres Wafer-Handling und gewährleisten gleichzeitig ein vollständiges Eintauchen in chemische Bäder.

Das Werkzeug verfügt über einen einstellbaren Stoppmechanismus am Abzug, der es dem Bediener ermöglicht, die Federspannung für den schonenden Umgang mit dünnen und zusammengesetzten Wafern zu ändern. Sein ergonomisches Design sorgt für eine sichere Handhabung und Benutzerfreundlichkeit bei heiklen Vorgängen, wie z. B. dem Heben von Wafern von ebenen Oberflächen oder der Rettung von Prozesswerkzeugen und -geräten wie CMP-Polierern.

Der WHS-G3 wird in einer ISO9001-zertifizierten Umgebung hergestellt und ist CE-zertifiziert und erfüllt strenge internationale Standards für Qualität und Sicherheit. Seine robuste Konstruktion, gepaart mit präzisen Handhabungsfähigkeiten, macht ihn zu einem unverzichtbaren Werkzeug für Halbleiterlabore und Reinraumumgebungen, die eine sorgfältige und zuverlässige Wafer-Manipulation erfordern.

Optional ist ein Tischsockelhalter erhältlich, um das Werkzeug zwischen den Anwendungen organisiert und sauber zu halten.