Anwendung:
- Kratzerreduzierung – Kratzer an Wafern können während des Handlings auftreten und zu Defekten sowie Ertragsverlusten führen. Wafer-Moderatoren sind so konzipiert, dass sie den Wafer von der Kassette anheben, sodass die Bediener auf den Wafer zugreifen und ihn bedienen können, ohne physisch zwischen die Wafer innerhalb der Kassette wechseln zu müssen. Dadurch entfällt es für Bediener, den Wafer manuell zu bearbeiten, und verringert das Risiko von Schäden oder Kontaminationen.
Der WHS-P3 200 mm (8") ist ein manueller Wafer-Presenter, der dazu entwickelt wurde, gleichzeitig fünf Wafer 50 % vom Boden der Kassette anzuheben, sodass Bediener einen Wafer sicher entfernen können, ohne das Risiko zu riskieren, benachbarte Wafer in der Kassette zu zerkratzen. Erhältlich für 150 mm (6"), 200 mm (8") und kompatibel mit 125-mm-Wafern (WHS-P3-601 Modell), bietet dieser Präsentierende eine effiziente Lösung für Wafer-Handhabung in Halbleiterfabriken.
Durch das Anheben von Wafer-Sets (z. B. 1:6:11:16:21 oder 2:7:12:17:22) ermöglicht der WHS-P3 den Bedienern einfachen Zugriff auf einzelne Wafer, ohne sie manuell im Kassettenbereich manipulieren zu müssen, was das Risiko von Waferschäden, Kratzern und Kontaminationen erheblich verringert.
Der aus antistatischen Materialien gefertigte WHS-P3 gewährleistet einen optimalen ESD-Schutz und erfüllt die ISO 4 (FS209E Klasse 10) Reinraumstandards für Halbleiterverarbeitungsumgebungen.
Der WHS-P3 ist mit Blick auf Präzision und Langlebigkeit konzipiert und gewährleistet den höchsten Schutz für Ihre Wafer bei Inspektion, Sortierung und Transfer. Sein sicherer Kantenhandhaben, der Hebearm und die SEMI-Compliance machen ihn zu einem zuverlässigen Werkzeug für Reinraumbetrieb.
Hergestellt in einer ISO9001 zertifizierten Anlage und CE-zertifiziert, ist das WHS-P3 eine ideale Lösung zur Reduzierung von Waferdefekten und Ersprengverlusten und steigert die Betriebseffizienz in Halbleiterwafer-Verarbeitungsprozessen.
