Anträge:

• Prozessausrüstung - Thermische Prozessumgebungen, in denen der Wafer in der Kassette über 43 °C (110 °F) verarbeitet wird, der typischen strukturellen Schwellenwertobergrenze für Prozesskassetten aus Kunststoff.  Dazu gehören die chemische Gasphasenabscheidung (CVD), die schnelle thermische Verarbeitung (RTP) und das Waferglühen.
• Backen- Langfristige thermische Bake-Anwendungen, bei denen die Wafer mehrere Tage in Öfen belassen werden.
• Hohe Temperaturen zum Einsetzen von Wafern - Prozessanlagen, bei denen die Einfügetemperaturen der Wafer (Wafer, die aus dem Prozesswerkzeug austreten) den Schmelzpunkt einer Kunststoffkassette überschreiten.  Der Bedarf an höherem Durchsatz reduziert die Zeit, die die Wafer in der Kammer verbleiben, um abzukühlen und zu akklimatisieren.
• Kassette für die interne Umgebung - Cluster-Werkzeugautomatisierungsumgebungen, in denen eine Kassette in einer beheizten Vakuumumgebung (Kammer) für mehrere Prozessschritte im Leerlauf ist.
• Anforderungen an Präzisionsträger - Automatisierungsumgebungen mit moderater Wärme, in denen eine Maßgenauigkeit erforderlich ist, die eine Kunststoffkassette nicht bieten kann.
• Handhabung dünner Wafer - Handhabung dünner Wafer, bei denen scharfe, dünne Wafer in Kunststoffkassetten geschnitten werden.
• Dicke Wafer - Gebondete oder dicke Waferanwendungen, bei denen Kunststoffkassetten nach Industriestandard aufgrund von Steckplatzabmessungen nicht funktionieren.

The M1 series is an all aluminum 76 mm (3") 25-slot metal cassette for processing semiconductor wafers in a thermal environment, up to 350° C. A SEMI compliant cassette with outside dimensions and 8° angular slots similar to an industry standard plastic cassette for easy integration into stage and transfer automation considerations. All aluminum surfaces are (HC) hard clear anodized for prolonged abrasion resistance. Custom configurations available (may incur minimum order quantity amounts): EN-electroless nickel plating on aluminum types for high-vacuum applications; flat profile slotting for thin or thick wafers; end-wall fixed handles; dual h-bar configurations for backside wafer processing.
Bitte richten Sie Ihre Anfragen an sales@spstest.nl