WHS

Aluminium-Prozesskassette aus Metall 300 mm (WHS-M4)

Produktbeschreibung

Anträge:

  • Backen- Langfristige thermische Bake-Anwendungen, bei denen die Wafer mehrere Tage in Öfen belassen werden.
     
  • Dicke Wafers - Gebundene oder dicke Wafer-Anwendungen, bei denen branchenübliche Kunststoffkassetten aufgrund der Schlitzmaße nicht funktionieren.

 

Unsere WHS M4 Serie Aluminium-Metallkassette für 300 mm (12") Durchmesser Wafers. SEMI-konforme 25-Steckplätze, 10 mm (0,393") Tonhöhenkassette mit kinematischen Kupplungen und Seitenhebeln im Profil eines Industrie-FOUP. Verfügt über eine Verschlussstange für sicheren Wafertransport. Harte, klare (HC) eloxierte, abriebfeste Aluminiumoberfläche.  Für thermische Automatisierungsprozesse und allgemeine Backanwendungen bis zu 350°C.

WHS

Aluminium-Prozesskassette aus Metall 300 mm (WHS-M4)

Hochtemperaturanwendungen bis zu 350°C
Starkes, dimensionsstabiles Design
SEMI 300 mm automatisierungskonform
Langanhaltende abriebfeste Materialien
Ergonomische, fest montierte Seitengriffe
Verriegelungsstange für sicheren Transport

Leistungsbeschreibung

Marke
WHS
Produktnummer
WHS-M4-1807002
Material
Aluminium
Größe des Wafers
300 mm (12")
Schlitze
25
Oben/Unten
Stirnwand / Andockmöglichkeit
Griff
Mit Griff
Max. Betriebstemperatur
Bis zu 350°C
Oberflächengüte
Hart, klar eloxiert (HC)
Status
Informationen anfordern

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