Anträge
- Wafer-Inspektion - Wafer-Präsentatoren werden verwendet, um Wafer während der Inspektion zu halten und zu drehen, was eine automatisierte und konsistente Makroanalyse von Waferoberflächen und -merkmalen ermöglicht. Häufig anzutreffen in der Rohwaferproduktion, nach der Epitaxieinspektion, bei der Glaswafer-Haze-, Kratzer-, Makrodefektinspektion und bei Inspektionen der Losprozessintegrität in der Photolithographie (Fotolack) und in den Probe-/Testbereichen (Beflockung).
- Kratzreduktion- Kratzer auf Wafern können während der Handhabung auftreten und zu Defekten und Ertragsverlusten führen. Wafer-Präsentatoren sind so konzipiert, dass sie den Wafer aus seiner Kassette anheben, sodass Bediener auf den Wafer zugreifen und ihn handhaben können, ohne physisch zwischen die Wafer in der Kassette greifen zu müssen. Dies eliminiert die Notwendigkeit für Bediener, den Wafer manuell zu manipulieren, und reduziert das Risiko von Beschädigungen oder Kontamination.
Der WHS-P1 150 mm (6") ist ein automatisierter Einzelwafer-Presenter mit Drehung, der für die präzise Handhabung und Inspektion von Halbleiterwafern entwickelt wurde. Erhältlich für Wafer mit 76 mm (3"), 100 mm (4"), 150 mm (6") und 200 mm (8") Durchmesser, hebt das WHS-P1-System einen einzelnen Wafer vollständig von seiner Kassette, sodass Bediener den Wafer sicher entfernen oder eine detaillierte Inspektion durchführen können. Das System verfügt außerdem über eine 180°-Wafer-Flip-Funktion für die Backside-Inspektion oder -verarbeitung.
Viele nutzen den WHS-P1, um Wafer innerhalb derselben Kassette zu drehen oder zu invertieren, wobei die ursprüngliche Wafer-Slot-Ausrichtung erhalten bleibt. Dieser Neuorientierungsprozess dauert pro Charge nur wenige Minuten und kann mit einem separaten Programm ausgeführt werden, was die operative Flexibilität verbessert und gleichzeitig die Wafer korrekt in ihren Slots positioniert bleibt.
Der aus antistatischen Materialien gefertigte WHS-P1 gewährleistet einen optimalen Waferschutz, indem er elektrostatische Entladung und physische Schäden minimiert. Sein Design entspricht den ISO-3-Reinraumstandards und eignet sich daher für empfindliche Halbleiterumgebungen, in denen die Kontaminationskontrolle kritisch ist.
Anwendungen umfassen Wafer-Inspektionsverfahren wie Makroanalysen von Oberflächen, Kratz- und Defekterkennung, post-epitaktische Inspektion und Bewertungen der Schichtgleichmäßigkeit. Das automatisierte Anheben und Drehen eliminiert manuelle Wafer-Handhabung und reduziert das Risiko von Kratzern und Handhabungsfehlern.
Der WHS-P1 ist optional mit einem Edelstahltisch in Reinraumqualität erhältlich, der darauf ausgelegt ist, die Einheit in der idealen ergonomischen Höhe für Bediener zu montieren. Hergestellt in einer ISO9001 zertifizierten Anlage und CE-zertifiziert, ist der WHS-P1 für eine langfristige Leistung in Reinraumumgebungen konzipiert.
