Anträge

• Versand-/Wareneingangsbereich: Wafer-Transfers werden verwendet, um eingehende Wafer von einer Versandkassette zu einer WIP-Produktionskassette zu bewegen.
   
• Epitaktischer Bereich : Wafer-Transfers werden verwendet, um eingehende Wafer von einer Versandkassette zu einer WIP-Produktions- oder Spezial-EPI-Prozesskassette zu bewegen.
   
• Bereiche der Nasschemie : Wafer-Transfers werden verwendet, um Wafer zwischen einer WIP-Produktionskassette und einer Teflon-PFA-Kassette für den Nassprozess zu bewegen, wenn sie in Bereiche der Nasschemie gelangen.
   
• Brennflächen für thermische Prozesse : Wafer-Transfers werden verwendet, um Wafer zwischen einer WIP-Produktionskassette und Metall- oder Quarzkassetten zu bewegen, wenn sie in thermische Prozessbereiche gelangen
   
• Mess- und Prüfbereiche : Wafer-Transfers können auch in Mess- und Inspektionsbereichen auftreten, in denen Wafer analysiert und auf Defekte und andere Qualitätskontrollmaßnahmen untersucht werden.
   
• Sonden- und Prüfbereiche : Wafer-Transfers werden verwendet, um eingehende Wafer von einer Versandkassette auf eine WIP-Produktionskassette zu verschieben.
   

Die WHS-T2-Serie ist ein präzisionsgefertigtes, automatisches horizontales Bulk-Wafer-Slide-Transfersystem, das für den sicheren Transport von Wafern zwischen zwei SEMI-konformen Kassetten entwickelt wurde. Der WHS-T2 ist in speziellen Größen für 76-mm-, 100-mm-, 150-mm- und 200-mm-Wafer erhältlich und mit High- und Low-Profile-Prozesskassetten aus Kunststoff, Metallkassetten und den meisten Versandkassetten mit H-BAR kompatibel. Dieses fortschrittliche System gewährleistet einen reibungslosen und effizienten Wafertransfer über verschiedene Halbleiteranwendungen hinweg, einschließlich Versand/Empfang, Epitaxie, Nasschemie und thermische Verarbeitungsbereiche.

Der WHS-T2 ist mit einem Touchscreen-Display für eine intuitive Steuerung, integrierten SEND- und RECEIVE-Tischkassetten-in-Place-Sensoren und einem einstellbaren Transferarm-Widerstandssensor ausgestattet, um übermäßige Kräfte während der Bewegung zu erkennen und so die Integrität des Wafers zu gewährleisten.

Darüber hinaus bietet ein Ultraschallsensor eine zusätzliche Sicherheitsüberprüfung, indem er erkennt, ob sich bereits Wafer in der RECEIVE-Kassette befinden, wenn der Bediener einen Transfer einleitet, wodurch potenzielle Fehler oder Waferschäden weiter vermieden werden.

Der WHS-T2 besteht aus antistatischen, chemikalienbeständigen Materialien und garantiert eine saubere, kontrollierte Umgebung, die die Reinraumnormen ISO 4 (FS209E Klasse 10) erfüllt. Aufgrund seiner Vielseitigkeit eignet er sich für das Wafer-Handling in Mess-, Ätz-, Inspektions-, Sonden- und Testbereichen.

Der WHS-T2 wird in einer ISO9001-zertifizierten und CE-zertifizierten Anlage hergestellt und bietet eine robuste, zuverlässige Lösung für Präzisions-Wafer-Transfers in Halbleiterfertigungsumgebungen.