Anträge:
- Ausrichtung - Wafer-Flat- und Notch-Aligner werden in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um sicherzustellen, dass Wafer bei verschiedenen Prozessen wie Lithographie, Abscheidung und Ätzen korrekt ausgerichtet werden. Der Wafer hat eine Kerbe oder Fläche, die der Ausrichtung der Kristallgitterstruktur des Wafers entspricht. Dies ist von entscheidender Bedeutung, da die Ausrichtung des Wafers die Leistung und Funktionalität des endgültigen Halbleiterbauelements beeinflusst.
- Integrität der Partie - Aligner werden auch in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um Bediener bei der Durchführung von Chargenintegritätsprüfungen zu unterstützen. Durch Drehen des Wafer-Ritzes, bei dem es sich um die Identifikationsmarkierung am Rand des Wafers handelt, damit er für den Bediener sichtbar ist, kann der Bediener überprüfen, ob die richtige Charge von Wafern in ein Produktionswerkzeug geladen wird. Dies ist ein wichtiger Schritt, um Fehler zu vermeiden und eine gleichbleibende Produktqualität zu gewährleisten.
- Kanten-Inspektion - Wafer-Flat- und Notch-Aligner werden auch in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um Wafer auf Kantendefekte zu untersuchen. Dieses Makroinspektionsverfahren wird in der Regel unter einer Lichtquelle durchgeführt und beinhaltet die Untersuchung der Kanten des Wafers auf Chips, Risse oder andere Unvollkommenheiten. Dies ist ein wichtiger Schritt, um einen Waferbruch bei nachfolgenden Verarbeitungsschritten zu verhindern, da Kantenfehler den Wafer schwächen und zum Bruch oder Ausfall führen können. Durch den Einsatz von Wafer-Flat- und Notch-Alignern zur Identifizierung und Inspektion dieser Defekte können Bediener Maßnahmen ergreifen, um die weitere Verarbeitung fehlerhafter Wafer zu verhindern und kostspielige Produktionsverzögerungen zu vermeiden.
Die WHS-A1-Serie von WHS ist ein hochmoderner automatischer flacher Aligner, der für präzise Wafer-Ausrichtung für 150-mm-Wafer entwickelt wurde und eine Genauigkeit innerhalb von ±1° gewährleistet. Der WHS-A1 ist mit modernsten Technologien und ESD-sicheren Materialien gebaut und ideal für den Umgang mit fortschrittlichen Materialien wie InP, GaAs, GaN und SiC und ist damit eine perfekte Lösung für die heutige Compound-Halbleiterindustrie. Das System verfügt über eine motorisierte Stufe für sanftes Waferheben, wodurch die Waferkanten geschützt und die Produktionsausbeute maximiert werden.
Über die integrierte Touchscreen-Oberfläche können Benutzer auf mehrere Programme zugreifen, darunter Standardausrichtung, Ausrichtung von Dünn-/Verbindungswafern und Kanteninspektionsmodi. Der WHS-A1 wurde für Reinraumumgebungen entwickelt und arbeitet unter ISO 3-Bedingungen (Klasse 1 FS209E), um die Einhaltung der strengsten Standards für Sauberkeit und Kontaminationskontrolle zu gewährleisten.
Durch die Schnelltrenn-Rollenbaugruppen ist der Aligner wartungsfreundlich und minimiert Ausfallzeiten, während die Kompatibilität mit SEMI-konformen Wafer-Kassetten eine nahtlose Integration in bestehende Prozesse ermöglicht.
Unabhängig davon, ob er für die Chargenintegrität, die Kristallorientierung oder die Inspektion von Waferkanten eingesetzt wird, wurde der WHS-A1 entwickelt, um die Betriebseffizienz und die Produktqualität zu verbessern. Der WHS-A1 wird in einer ISO9001- und CE-zertifizierten Einrichtung hergestellt und entspricht den höchsten globalen Standards für Sicherheit, Leistung und Zuverlässigkeit.
