Anträge

• Allgemeine Verwendung: Vakuumstäbe werden verwendet, um Wafer aufzunehmen und von einem Ort zum anderen zu transportieren, ohne Partikel hinzuzufügen.
• Sortieren: Für manuelle Wafer-Sortieranwendungen ermöglichen Vakuumstäbe dem Bediener, Wafer sicher und präzise innerhalb einer übergeordneten Charge zu bewegen. Sie können auch verwendet werden, um Chargen miteinander zu kombinieren, Testwafer hinzuzufügen und beschädigte Wafer bei Bedarf zu ersetzen.
• Inspektion- Bediener können Vakuumstäbe verwenden, um einen Wafer aus einer übergeordneten Charge herauszuziehen und ihn unter spezieller Beleuchtung auf Defekte zu untersuchen. Damit wird sichergestellt, dass der Prozess erfolgreich war und der Wafer die geforderten Spezifikationen erfüllt
• Retten– Vakuumstäbe können verwendet werden, um verseilte Substrate von Kassetten, Pods und Prozesswerkzeugen zu entfernen, wenn die Automatisierung nicht leistungsfähig ist.

Der WHS-V6 ist ein fortschrittlicher, kabelloser, batteriebetriebener Vakuumstab, der für die flexible, tragbare Handhabung von Wafern in Reinraumumgebungen entwickelt wurde. Er ist frei von Vakuumleitungen und bietet volle Mobilität, was ihn ideal für die Wafer-Rettung, die manuelle Sortierung, die leichte Produktion und die Handhabung kleiner Geräte macht. Der WHS-V6 ist als universelles Werkzeug konzipiert, das einen schnellen Wechsel von Vakuumspitzen oder kleinen Geräteadaptern ermöglicht und so maximale Kompatibilität mit allen WHS-Vakuumstab-Optionen gewährleistet. Zu den Modellen gehören der WHS-V6-200 für die Handhabung von Wafern von 150 mm bis 200 mm und der WHS-V6-300 für 300 mm Wafer. Das System kann mit Vakuumspitzen oder als Basisgerät zur individuellen Anpassung durch den Benutzer erworben werden.

Der WHS-V6 verfügt außerdem über ein normalerweise offenes Vakuumflusssystem mit einer Auto-on-Pick-up-Funktion, die es dem Bediener ermöglicht, den Stab von der Ladestation zu nehmen und ihn sofort ohne manuelle Aktivierung zu verwenden. Das Werkzeug schaltet sich automatisch ab, wenn es wieder in die Ladestation eingesetzt wird, was den Bedienkomfort erhöht. Darüber hinaus verfügt der WHS-V6 über eine integrierte LED-Lichtleiste für den Batteriestand, die den Batteriestatus immer in Echtzeit sichtbar macht.

Der WHS-V6 wird von einem austauschbaren Lithium-Ionen-Akku angetrieben und bietet eine kontinuierliche Laufzeit von über 5 Stunden pro Ladung. Die kabellose, intelligente Ladestation verhindert ein Überladen und verlängert die Akkulaufzeit. Der Stab erzeugt einen barometrischen Vakuumdruck von 600 mbar (17,7" Hg) für die sichere Handhabung von Wafern und kleinen Bauteilen.

Ein fortschrittlicher H14-HEPA-Filter fängt 99,99 % der 0,3 μm Partikel auf und sorgt so für eine optimale Kontaminationskontrolle. Mit einem ergonomischen, ESD-sicheren Design bietet der WHS-V6 maximalen Schutz für Bediener und Wafer.

Der WHS-V6 wird in einer ISO9001-zertifizierten und CE-zertifizierten Umgebung hergestellt und bietet eine zuverlässige, tragbare Lösung für das Handling von Wafern und Geräten in Reinräumen.