Anträge:
- Ausrichtung - Wafer-Flat- und Notch-Aligner werden in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um sicherzustellen, dass die Wafer bei verschiedenen Prozessen wie Lithographie, Abscheidung und Ätzen korrekt ausgerichtet sind. Der flache Aligner hat eine Kerbe oder eine Abflachung, die der Ausrichtung der Kristallgitterstruktur des Wafers entspricht. Dies ist von entscheidender Bedeutung, da die Ausrichtung des Wafers die Leistung und Funktionalität des endgültigen Halbleiterbauelements beeinflusst.
- Chargenintegrität - Aligner werden auch in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um Bediener bei der Durchführung von Chargenintegritätsprüfungen zu unterstützen. Durch Drehen des Wafer-Ritzes, bei dem es sich um die Identifikationsmarkierung am Rand des Wafers handelt, damit er für den Bediener sichtbar ist, kann der Bediener überprüfen, ob die richtige Charge von Wafern in ein Produktionswerkzeug geladen wird. Dies ist ein wichtiger Schritt, um Fehler zu vermeiden und eine gleichbleibende Produktqualität zu gewährleisten.
- Kanteninspektion - Wafer-Flat- und Notch-Aligner werden auch in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um Wafer auf Kantenfehler zu untersuchen. Dieses Makroinspektionsverfahren wird in der Regel unter einer Lichtquelle durchgeführt und beinhaltet die Untersuchung der Kanten des Wafers auf Chips, Risse oder andere Unvollkommenheiten. Dies ist ein wichtiger Schritt, um einen Waferbruch bei nachfolgenden Verarbeitungsschritten zu verhindern, da Kantenfehler den Wafer schwächen und zum Bruch oder Ausfall führen können. Durch den Einsatz von Wafer-Flat- und Notch-Alignern zur Identifizierung und Inspektion dieser Defekte können Bediener Maßnahmen ergreifen, um die weitere Verarbeitung fehlerhafter Wafer zu verhindern und kostspielige Produktionsverzögerungen zu vermeiden.
Der WHS-A5-601 ist ein wirtschaftlicher antistatischer Flach-Aligner für die Ausrichtung von oben und unten bei 150-mm-Primärwafer-Flats. Verfügt über fortschrittliche, abriebfeste, statisch dissipative Stufen- und Walzenmaterialien. Wenig Wartung und lange Lebensdauer. ISO Klasse 4
