Anträge:
- Ausrichtung - Wafer-Flat- und Notch-Aligner werden in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um sicherzustellen, dass die Wafer bei verschiedenen Prozessen wie Lithographie, Abscheidung und Ätzen korrekt ausgerichtet sind. Der flache Aligner hat eine Kerbe oder eine Abflachung, die der Ausrichtung der Kristallgitterstruktur des Wafers entspricht. Dies ist von entscheidender Bedeutung, da die Ausrichtung des Wafers die Leistung und Funktionalität des endgültigen Halbleiterbauelements beeinflusst.
- Chargenintegrität - Aligner werden auch in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um Bediener bei der Durchführung von Chargenintegritätsprüfungen zu unterstützen. Durch Drehen des Wafer-Ritzes, bei dem es sich um die Identifikationsmarkierung am Rand des Wafers handelt, damit er für den Bediener sichtbar ist, kann der Bediener überprüfen, ob die richtige Charge von Wafern in ein Produktionswerkzeug geladen wird. Dies ist ein wichtiger Schritt, um Fehler zu vermeiden und eine gleichbleibende Produktqualität zu gewährleisten.
- Kanteninspektion - Wafer-Flat- und Notch-Aligner werden auch in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um Wafer auf Kantenfehler zu untersuchen. Dieses Makroinspektionsverfahren wird in der Regel unter einer Lichtquelle durchgeführt und beinhaltet die Untersuchung der Kanten des Wafers auf Chips, Risse oder andere Unvollkommenheiten. Dies ist ein wichtiger Schritt, um einen Waferbruch bei nachfolgenden Verarbeitungsschritten zu verhindern, da Kantenfehler den Wafer schwächen und zum Bruch oder Ausfall führen können. Durch den Einsatz von Wafer-Flat- und Notch-Alignern zur Identifizierung und Inspektion dieser Defekte können Bediener Maßnahmen ergreifen, um die weitere Verarbeitung fehlerhafter Wafer zu verhindern und kostspielige Produktionsverzögerungen zu vermeiden.
Die WHS-A6-Serie ist ein kostengünstiger manueller Wafer-Flachausgleicher, der für eine präzise Ausrichtung von oben und unten in Volumen von Wafern von 76 mm (3") bis 150 mm (6") entwickelt wurde. Ideal für Halbleiterprozesse wie Lithografie, Abscheidung und Radierung, gewährleistet das WHS-A6 eine genaue Ausrichtung der Waferflächen – ein entscheidender Schritt zur Optimierung der Leistung und Funktionalität von Halbleiterbauelementen.
Der WHS-A6 wurde für SEMI-konforme Wafer-Kassetten gebaut und verfügt über fortschrittliche, abriebfeste und statisch dissipative Stufen- und Rollenmaterialien. Sein antistatisches Design schützt empfindliche Wafer, indem es sowohl den Wafer als auch die Kassette erdet und so zuverlässigen ESD-Schutz in Reinraumumgebungen bietet.
Für ISO 4 (Klasse 10 FS209E) Reinräume konstruiert, ist der WHS-A6 so konzipiert, dass er die strengen Standards zur Verunreinigungskontrolle erfüllt, die in der Halbleiterfertigung erforderlich sind. Die Schnell-Trenn-Walzen-Baugruppe vereinfacht die Wartung, minimiert Ausfallzeiten und sorgt für eine lange Betriebsdauer.
Neben der Ausrichtung ist der WHS-A6 ideal für Grundstücksintegritätsprüfungen und Kanteninspektionen. Sein ergonomisches Design ermöglicht es Bedienern, effizient Wafer-Scribe-Prüfungen durchzuführen und potenzielle Kantendefekte frühzeitig zu erkennen, wodurch kostspielige Waferschäden vermieden und eine einheitliche Produktqualität gewährleistet werden.
Der WHS-A6 wird in einer ISO9001 zertifizierten Einrichtung hergestellt, um eine erstklassige Qualitätskontrolle zu gewährleisten, und ist CE-zertifiziert für Sicherheit und Leistung. Dies macht den WHS-A6 zu einer zuverlässigen und wirtschaftlichen Lösung für präzise Wafer-Ausrichtung, die internationale Standards erfüllt und gleichzeitig die Kosteneffizienz für die Halbleiterfertigung aufrechterhält.
