Der WHS-L3-6250 ist ein präzisionstechnischer mechanischer Plektren, der speziell für die sichere Handhabung fortschrittlicher EUV-Fadenkreuze entwickelt wurde. Mit einem 4-Greifer-Mechanismus mit normalerweise geschlossenem (konstanter Kraft) Seitengriff verarbeitet der WHS-L3 sicher 6"x6"x0,250" EUV-Faden, indem er die tangentiale Kante hält, wodurch Kontaminationsrisiken minimiert werden, indem direkter Kontakt mit empfindlichen Chromoberflächen vermieden wird. Dies gewährleistet die Integrität der Retikel während kritischer Halbleiterprozesse.

Der WHS-L3 ist für die Kompatibilität mit industriestandardisierten EUV-Retikel-Speicherpods konstruiert und verfügt über eine fortschrittliche Fertigung von Greifern, die eine verbesserte Haltbarkeit, antistatische Eigenschaften und chemische Beständigkeit bietet. Die verkürzten und zusätzlichen Greifer bieten überlegene Kontrolle und Schutz für diese empfindlichen und hochwertigen EUV-Retikel und machen das WHS-L3 zu einem unverzichtbaren Werkzeug für EUV-Photolithographie-Anwendungen.

Für den Einsatz in ISO 3 (FS209E Klasse 1) Reinraumumgebungen gebaut, ist das WHS-L3 so gebaut, dass es strengen Anforderungen zur Verunreinigungskontrolle standhält. Der konstante Kraftmechanismus sorgt für gleichmäßigen, sanften Druck auf das Fadenkreuz, verringert das Schadensrisiko und gewährleistet gleichzeitig eine sichere und zuverlässige Handhabung.

Der WHS-L3 ist mit einem speziell entwickelten Tischsockelhalter ausgestattet, der das Werkzeug sauber und geschützt hält, wenn es nicht benutzt wird, um Langlebigkeit zu gewährleisten und die Leistung zu erhalten.

Hergestellt in einer ISO9001 zertifizierten und CE-zertifizierten Anlage, erfüllt das WHS-L3 internationale Standards für Qualität und Sicherheit und bietet eine zuverlässige Lösung für den Umgang mit ultraempfindlichen EUV-Kreuzen in Halbleiterproduktionsumgebungen.