Anträge:
- Transfer – Manuelles Übertragen von Fotomasken und Abzeichen zwischen Aufbewahrungsboxen in der Lagerraum-Maskenbibliothek und Produktionsmaskenboxen wie Reticle SMIF Pods (RSP), Nikon Cartridge Retikboxen oder Canon Cartridge Retikboxen.
- Inspektion- Durchführung von Makrointegritätsprüfungen während des Transfers, bei denen Maskenhandhaber Masken visuell auf Barcode-Identifikation, Partikel, Chromfehler, Verunreinigungen oder Schäden am Pellicle-Rahmen oder -film inspizieren.
- Maskenaligner – Laden und Entladen von Fotolithographie-Masken-Aligner-Werkzeugen mit Maskenpicks.
- Metrologie – Laden und Entladen von Mikroskopen und Messgeräten zur Inspektion von Masken und Absehen mit Maskenpickeln.
- Reinigung – Umgang mit Photomasken bei regelmäßigen Reinigungsanwendungen wie der Punktreinigung und vollständiger Reinigung mit Unterwasserlösungsmitteln.
- Maskenläden – Häufig in Produktionsgebieten und zur Reparatur von Masken in Maskenwerkstätten eingesetzt.
Der WHS-L2 ist ein normalerweise geschlossener (konstanter Kraft) horizontaler, versetzter mechanischer Pick, der 5"x 5" x 0,090" Fotomasken vom tangentialen Rand aus handhabt, um Verunreinigungen zu reduzieren und den Kontakt mit Chrom zu eliminieren. Fortschrittliche Herstellung von Greifern für Langlebigkeit, antistatische Eigenschaften und allgemeine chemische Beständigkeit. ISO Klasse 3.



