Anträge:

• Transfer – Manuelles Übertragen von Fotomasken und Abzeichen zwischen Aufbewahrungsboxen in der Lagerraum-Maskenbibliothek und Produktionsmaskenboxen wie Reticle SMIF Pods (RSP), Nikon Cartridge Retikboxen oder Canon Cartridge Retikboxen.
• Inspektion- Durchführung von Makrointegritätsprüfungen während des Transfers, bei denen Maskenhandhaber Masken visuell auf Barcode-Identifikation, Partikel, Chromfehler, Verunreinigungen oder Schäden am Pellicle-Rahmen oder -film inspizieren.
• Maskenaligner – Laden und Entladen von Fotolithographie-Masken-Aligner-Werkzeugen mit Maskenpicks.
• Metrologie – Laden und Entladen von Mikroskopen und Messgeräten zur Inspektion von Masken und Absehen mit Maskenpickeln.
• Reinigung – Umgang mit Photomasken bei regelmäßigen Reinigungsanwendungen wie der Punktreinigung und vollständiger Reinigung mit Unterwasserlösungsmitteln.
• Maskenläden – Häufig in Produktionsgebieten und zur Reparatur von Masken in Maskenwerkstätten eingesetzt.
   

Die WHS-L2-Serie ist ein präzisionskonstruiertes, normalerweise geschlossenes (konstantes Kraft) mechanisches Pickel, das für den horizontalen Offset-Griff von 5" bis 9" Fotomasken entwickelt wurde. Durch das Greifen von der tangentialen Kante reduziert das WHS-L2 das Kontaminationsrisiko, indem es den Kontakt mit empfindlichen Chromoberflächen eliminiert, was es ideal für kritische Halbleiterprozesse macht.

Aus fortschrittlichen Materialien gefertigt, gewährleistet das WHS-L2 eine langanhaltende Haltbarkeit mit antistatischen Eigenschaften und ausgezeichneter chemischer Beständigkeit. Er ist für den Einsatz in ISO 3 (FS209E Klasse 1) Reinräumen konzipiert und erfüllt die höchsten Standards für Sauberkeit und Verunreinigungskontrolle.

Der WHS-L2 ist äußerst vielseitig und eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich manueller Übertragungen von Fotomasken und Retikeln zwischen Aufbewahrungsboxen und Produktionsumgebungen wie Reticle SMIF Pods, Nikon und Canon Retikelboxen. Es eignet sich auch ideal für Makrointegritätsinspektionen während der Übertragungen, da Betreiber Barcode-IDs, Partikel, Chromdefekte und Schäden am Pellicle-Rahmen oder -film überprüfen können. Das Werkzeug ist zudem für den Einsatz in Maskenalignern und Messgeräten optimiert.

Das WHS-L2 wird mit einem speziell entwickelten Tischsockelhalter ausgeliefert, der den Maskenpickel sauber und vor Beschädigungen zwischen den Einsätzen schützt, was die Lebensdauer erhöht und die Leistung aufrechterhält.

Hergestellt in einer ISO9001 zertifizierten Anlage und CE-zertifiziert, erfüllt das WHS-L2 internationale Qualitäts- und Sicherheitsstandards und bietet eine robuste und zuverlässige Lösung für die Handhabung von Fotomasken in der Halbleiterfertigung und in Maskenwerkstätten.