Anträge:
- Wafer-Inspektion – Wafer-Präsentierende werden verwendet, um Wafer während der Inspektion zu halten und zu drehen, was eine automatisierte und konsistente Makroanalyse von Waferflächen und -merkmalen ermöglicht. Häufig in der Rohwaferproduktion, post-epitaktischer Inspektion, Glaswafer-Nebel, Kratz-, Makro-Defektinspektion und Inspektionen der Lot-Prozessintegrität in Photolithographie (Photoresist) und Probe-/Testbereichen (Tusche) zu sehen.
- Kratzreduktion – Kratzer an Wafern können während der Handhabung auftreten und zu Mängeln sowie Erflussverlusten führen. Wafer-Moderatoren sind so konzipiert, dass sie den Wafer von der Kassette anheben, sodass die Bediener auf den Wafer zugreifen und ihn bedienen können, ohne physisch zwischen die Wafer innerhalb der Kassette wechseln zu müssen. Dadurch entfällt es für Bediener, den Wafer manuell zu bearbeiten, und verringert das Risiko von Schäden oder Kontaminationen.
Der WHS-P4 100 mm (4") ist ein manueller Einzelwafer-Präsentationsapparat, der die Waferhandhabung und -inspektion verbessert und gleichzeitig das Risiko von Schäden oder Kontaminationen minimiert. Erhältlich in vier Größen – 76 mm (3"), 100 mm (4"), 150 mm (6") und 200 mm (8") – hebt dieses Präzisionswerkzeug einen einzelnen Wafer von seiner Kassette und präsentiert ihn dem Bediener zur einfachen Entnahme oder Makroinspektion. Das WHS-P4 überflüssig macht manuelle Wafer-Manipulation im Inneren der Kassette überflüssig und reduziert das Risiko, benachbarte Wafer zu zerkratzen, erheblich.
Der WHS-P4 wurde aus antistatischen Materialien gefertigt und entspricht strengen ISO 4 (FS209E Klasse 10) Reinraumstandards, sodass er einen optimalen Schutz für Ihre Wafer gewährleistet. Bediener können den Selektor verwenden, um einen der 25 Wafer einer Kassette anzuheben, was sie zu einem idealen Werkzeug für Waferinspektion, Sortierung und Verarbeitung macht. Das präzise antistatische Liftblatt ermöglicht eine sichere Waferhandhabung ohne physischen Kontakt auf der empfindlichen Waferoberfläche.
Der WHS-P4 bietet eine kosteneffiziente, wartungsarme Lösung für die Waferhandhabung und ist damit ein vielseitiges und unverzichtbares Werkzeug in Halbleiterfertigungsumgebungen. Er wurde entwickelt, um Waferkratzer und -defekte zu verhindern, und bietet eine zuverlässige Methode, um den Ertrag zu verbessern und handlingsbedingte Schäden zu reduzieren.
Hergestellt in einer ISO9001 zertifizierten und CE-zertifizierten Einrichtung, bietet der WHS-P4 eine leistungsstarke, langlebige Lösung für die Behandlung und Inspektion von Wafer-Prozessen im Reinraum.
