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- Prüfungen der Grundstücksintegrität – Waferrolltreppen werden von Betreibern in Halbleiterfabriken verwendet, um die IDs von Wafern manuell zu überprüfen, bevor sie den nächsten Prozess durchlaufen. Dies ist Teil der Grundstücksintegritätsprüfungen, die sicherstellen, dass die Wafer ordnungsgemäß verfolgt und verarbeitet werden.
Der WHS-P2 150 mm (6") ist eine präzisionskonstruierte, manuelle Wafer-Rolltreppe, die Bediener bei der Lasermarkierung (Wafer-ID) und der Integritätsprüfung in Halbleiterfabriken unterstützt. Mit einer 25° Winkelpräsentation ermöglicht dieses Tischwerkzeug einfachen Zugriff auf einzelne Wafer für eine manuelle Inspektion und gewährleistet eine korrekte Verfolgung und Identifikation, bevor sie zum nächsten Prozessschritt übergehen.
Der Bediener verwendet den WHS-P2, indem er eine Waferkassette mit Wafern auf das Werkzeug absenkt. Der ergonomische Winkel und die eingebauten Führungen machen diesen Vorgang einfach und wiederholbar und gewährleisten jedes Mal eine präzise Positionierung. Das einzigartige Kammdesign bietet Schutz vor Absplitterung der Waferkanten und erhöht die Sicherheit der Wafer weiter. Die Rolltreppe hebt jeden Wafer um 0,200" (5 mm) über den vorherigen an, sodass der Bediener schnell und effizient die gesamte Wafercharge verifizieren kann.
Der WHS-P2 ist für Wafer mit einem Durchmesser von 100 mm (4"), 150 mm (6") und 200 mm (8") erhältlich und mit den meisten SEMI-Standard-Kassetten mit 25 Steckplätzen kompatibel. Dem Bediener wird empfohlen, einen Wafer-Aligner zu verwenden, bevor er die Kassette auf den WHS-P2 aufsetzt, um optimale Ergebnisse zu erzielen.
Die Rolltreppe besteht aus abriebfesten Materialien und bietet eine hervorragende chemische Beständigkeit und ESD-sichere Eigenschaften sowie einen zuverlässigen Erdungspfad, um elektrostatische Entladungen zu verhindern.
Der WHS-P2 wird in einer ISO9001-zertifizierten und CE-zertifizierten Anlage hergestellt und bietet eine langlebige, leistungsstarke Lösung für die manuelle Handhabung und Inspektion von Wafern in der Halbleiterfertigung.
