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- Chargenintegritätsprüfungen - Wafer-Rolltreppen werden von Bedienern in Halbleiterfabriken verwendet, um die IDs von Wafern manuell zu überprüfen, bevor sie den nächsten Prozess durchlaufen. Dies ist Teil der Chargenintegritätsprüfungen, die dazu beitragen, sicherzustellen, dass die Wafer ordnungsgemäß verfolgt und verarbeitet werden.
Die WHS-P2 ist eine präzisionsgefertigte, manuelle Wafer-Rolltreppe, die den Bediener beim Lesen der Wafer-ID (Lasermarkierung) und bei der Chargenintegritätsprüfung in Halbleiterfabriken unterstützt. Mit einer um 25° abgewinkelten Präsentation ermöglicht dieses Tischwerkzeug einen einfachen Zugang zu einzelnen Wafern für die manuelle Inspektion und gewährleistet so eine ordnungsgemäße Nachverfolgung und Identifizierung, bevor sie zur nächsten Prozessstufe übergehen.
Der Bediener verwendet den WHS-P2, indem er eine Waferkassette mit Wafern auf das Werkzeug absenkt. Der ergonomische Winkel und die eingebauten Führungen machen diesen Vorgang einfach und wiederholbar und gewährleisten jedes Mal eine präzise Positionierung. Das einzigartige Kammdesign bietet Schutz vor Absplitterung der Waferkanten und erhöht die Sicherheit der Wafer weiter. Die Rolltreppe hebt jeden Wafer um 0,200" (5 mm) über den vorherigen an, sodass der Bediener schnell und effizient die gesamte Wafercharge verifizieren kann.
Der WHS-P2 ist für Wafer mit einem Durchmesser von 100 mm (4"), 150 mm (6") und 200 mm (8") erhältlich und mit den meisten SEMI-Standard-Kassetten mit 25 Steckplätzen kompatibel. Dem Bediener wird empfohlen, einen Wafer-Aligner zu verwenden, bevor er die Kassette auf den WHS-P2 aufsetzt, um optimale Ergebnisse zu erzielen.
Die Rolltreppe besteht aus abriebfesten Materialien und bietet eine hervorragende chemische Beständigkeit und ESD-sichere Eigenschaften sowie einen zuverlässigen Erdungspfad, um elektrostatische Entladungen zu verhindern.
Der WHS-P2 wird in einer ISO9001-zertifizierten und CE-zertifizierten Anlage hergestellt und bietet eine langlebige, leistungsstarke Lösung für die manuelle Handhabung und Inspektion von Wafern in der Halbleiterfertigung.
