Anträge:
- Ausrichtung- Wafer-Flat- und Notch-Aligner werden in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um sicherzustellen, dass die Wafer bei verschiedenen Prozessen wie Lithographie, Abscheidung und Ätzen korrekt ausgerichtet werden. Der flache Aligner hat eine Kerbe oder eine Abflachung, die der Ausrichtung der Kristallgitterstruktur des Wafers entspricht. Dies ist von entscheidender Bedeutung, da die Ausrichtung des Wafers die Leistung und Funktionalität des endgültigen Halbleiterbauelements beeinflusst.
- Integrität der Partie - Aligner werden auch in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um Bediener bei der Durchführung von Chargenintegritätsprüfungen zu unterstützen. Durch Drehen des Wafer-Ritzes, bei dem es sich um die Identifikationsmarkierung am Rand des Wafers handelt, damit er für den Bediener sichtbar ist, kann der Bediener überprüfen, ob die richtige Charge von Wafern in ein Produktionswerkzeug geladen wird. Dies ist ein wichtiger Schritt, um Fehler zu vermeiden und eine gleichbleibende Produktqualität zu gewährleisten.
- Kantenprüfung - Wafer-Flat- und Notch-Aligner werden auch in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um Wafer auf Kantenfehler zu untersuchen. Dieses Makroinspektionsverfahren wird in der Regel unter einer Lichtquelle durchgeführt und beinhaltet die Untersuchung der Kanten des Wafers auf Chips, Risse oder andere Unvollkommenheiten. Dies ist ein wichtiger Schritt, um einen Waferbruch bei nachfolgenden Verarbeitungsschritten zu verhindern, da Kantenfehler den Wafer schwächen und zum Bruch oder Ausfall führen können. Durch den Einsatz von Wafer-Flat- und Notch-Alignern zur Identifizierung und Inspektion dieser Defekte können Bediener Maßnahmen ergreifen, um die weitere Verarbeitung fehlerhafter Wafer zu verhindern und kostspielige Produktionsverzögerungen zu vermeiden.
Die WHS-A2-Serie ist eine manuelle Wafer-Flachausrichtung, die für die Ausrichtung von oben und unten mit 150 mm (6") Wafern entwickelt wurde. Es ist darauf ausgelegt, Compound-Wafer wie InP, GaAs, GaN und SiC zu verarbeiten und so eine genaue Ausrichtung für kritische Halbleiterprozesse wie Lithografie, Abscheidung und Ätzen sicherzustellen.
Mit seinem ergonomischen Drehknopf und Hebel reduziert der WHS-A2 die Ermüdung des Bedieners und behält gleichzeitig eine präzise Kontrolle über die Ausrichtung. Der federbelastete Tisch greift sanft in die Wafer ein, schützt die Kanten, erhöht die Ausbeute und reduziert das Bruchrisiko.
Der WHS-A2 besteht aus statisch ableitenden Materialien und bietet ESD-Schutz, indem er sowohl den Wafer als auch die Kassette erdet und so empfindliche Geräte schützt. Er wurde für den Einsatz in Reinraumumgebungen nach ISO 4 (Klasse 10 FS209E) entwickelt und erfüllt die strengen Anforderungen an die Kontaminationskontrolle.
Der WHS-A2 ist mit SEMI-konformen Wafer-Kassetten kompatibel und verfügt über eine Schnelltrenn-Rollenbaugruppe für eine einfache Wartung. Es unterstützt wichtige Aufgaben wie Chargenintegritätsprüfungen und Kanteninspektionen und hilft den Bedienern, Fehler frühzeitig zu erkennen und kostspielige Verzögerungen zu vermeiden.
Der WHS-A2 wird in einer ISO9001 zertifizierten Einrichtung hergestellt und ist CE-zertifiziert, was die Einhaltung strenger internationaler Qualitäts- und Sicherheitsstandards gewährleistet. Damit ist er die ideale Wahl für das präzise Wafer-Handling in Reinraumanwendungen.
