Anträge

• Spezialwaferhandhabung - Allgemeine Randbehandlung von gebundenen, doppeltopografischen, Taiko-, optischen, TSV-, MEMS- und anderen Wafern, die nicht mit Backside-Kontakt-Handhabungsmethoden behandelt werden können.
   
• Retten - Rettung von Wafer, die in einem Prozesswerkzeug oder einer Automatisierung feststecken.
   
• Standardhandhabung - Manuelles Übertragen, Sortieren und Beladen von Wafern in einer Waferfabrik. Funktioniert sowohl für Silizium- als auch für Compound-Wafer.
   
• Inspektion - Probeninspektionswafer auf Makrodefekte, Partikel und Kratzer, was typischerweise erfordert, dass Bediener unter spezieller Beleuchtung inspiziert werden.
• Wirtschaftliches Handhabungswerkzeug - Als kostengünstige und tragbare Alternative zu Vakuumwands für allgemeine Wafer-Handhabungsanwendungen eingesetzt; und als Ersatz für Pinzetten, die Kratzer hinterlassen.

Die WHS-G1-Serie ist ein präzisionskonstruierter manueller 200-mm-Wafer-Kantengripper, der für den sicheren und effizienten Umgang mit Wafern mit einer Dicke von 120 μm bis 1000 μm entwickelt wurde.

Dieses antistatische, normalerweise geschlossene mechanische Werkzeug ist ideal für Anwendungen, bei denen traditionelle Backside-Kontaktmethoden nicht geeignet sind, wie gebundene Wafer, Doppeltopographie, Taiko, TSV, MEMS und optische Wafer. Das Material des unteren Greifers ist ESD-sicheres PEEK und bietet Langlebigkeit, antistatischen Schutz und chemische Beständigkeit in anspruchsvollen Reinraumumgebungen. Mit einem 3-mm-Perfluorcarbon-Elastomer-Touchpad auf der vorderen Seite gewährleistet das WHS-G1 eine sichere Waferhandhabung ohne das Risiko von Kratzern oder Kontaminationen. Sein ergonomischer, gewichteter Griff und der einfach zu bedienende Abzug sorgen für präzise Steuerung und verringern die Ermüdung des Bedieners während langer Phasen manueller Waferhandhabung. Das Design ist für SEMI-Standard-Rundsubstrate optimiert, was es vielseitig für Silizium- und Compoundwafer macht.

Der WHS-G1 eignet sich nicht nur für Standardwafer-Handlingsaufgaben wie manuelles Umfüllen, Sortieren und Laden, sondern zeichnet sich auch in spezialisierteren Operationen aus, wie etwa der Rettung von Wafer, die in Prozesswerkzeugen oder Automatisierungssystemen festsitzen. Er kann auch zur Inspektion von Wafers auf Makrodefekte, Partikel und Kratzer verwendet werden, wobei seine reine Kantenhandhabungsmethode das Kontaminationsrisiko reduziert.

Dieser Gripper ist eine kostengünstige Alternative zu Vakuumstäben und Pinzetten und bietet eine überlegene Handhabung, ohne Kratzer oder Schmutz zu hinterlassen. Hergestellt in einer ISO9001- und CE-zertifizierten Anlage, erfüllt der WHS-G1 internationale Sicherheits- und Leistungsstandards und bietet eine zuverlässige Lösung für hochpräzise Wafer-Handhabung in Reinraumumgebungen.