Anträge:
- Transfer – Manuelles Übertragen von Fotomasken und Abzeichen zwischen Aufbewahrungsboxen in der Lagerraum-Maskenbibliothek und Produktionsmaskenboxen wie Reticle SMIF Pods (RSP), Nikon Cartridge Retikboxen oder Canon Cartridge Retikboxen.
- Inspektion- Durchführung von Makrointegritätsprüfungen während des Transfers, bei denen Maskenhandhaber Masken visuell auf Barcode-Identifikation, Partikel, Chromfehler, Verunreinigungen oder Schäden am Pellicle-Rahmen oder -film inspizieren.
- Maskenaligner – Laden und Entladen von Fotolithographie-Masken-Aligner-Werkzeugen mit Maskenpicks.
- Reinigung – Umgang mit Photomasken bei regelmäßigen Reinigungsanwendungen wie der Punktreinigung und vollständiger Reinigung mit Unterwasserlösungsmitteln.
- Maskenläden – Häufig in Produktionsgebieten und zur Reparatur von Masken in Maskenwerkstätten eingesetzt.
Die WHS-L1-Serie ist ein präzisionskonstruiertes, normalerweise geschlossenes (konstantes Kraft) Seitengriff-mechanisches Plektre, das für die sichere Handhabung von 5" (5x5x0,090) Fotomasken entwickelt wurde. Durch das Greifen der Maske von der tangentialen Kante aus verhindert das WHS-L1 den Kontakt mit empfindlichen Chromoberflächen, minimiert das Kontaminationsrisiko und erhält die Integrität der Photomasken während kritischer Halbleiterprozesse.
Vielseitig in seiner Anwendung ist der WHS-L1 ideal für das manuelle Übertragen von Fotomasken und Absehenfäden zwischen Aufbewahrungsboxen und Produktionsumgebungen wie Reticle SMIF Pods, Nikon und Canon Retikelboxen. Er ist auch entscheidend für die Durchführung von Makrointegritätsprüfungen während der Übertragungen, sodass Bediener Barcodes, Partikel, Defekte oder Schäden am Pellicle-Rahmen oder -film überprüfen können. Zusätzlich bietet es eine zuverlässige Handhabung während der Reinigung und Inspektion von Fotomasken.
Aus fortschrittlichen Materialien gefertigt, ist der WHS-L1 für Langlebigkeit ausgelegt, mit antistatischen Eigenschaften und chemischer Beständigkeit, was ihn für ISO 3 (FS209E Klasse 1) Reinraumumgebungen geeignet macht. Der Mechanismus mit konstanter Kraft sorgt für sicheres, sanftes Fahren, reduziert das Schadensrisiko und ermöglicht gleichzeitig präzise manuelle Steuerung.
Der WHS-L1 wird mit einem speziell entwickelten Tischsockelhalter ausgeliefert, um den Maskenpick sauber und vor Beschädigungen zwischen den Einsätzen zu schützen, wodurch seine Betriebsdauer und Leistung verlängert wird.
Hergestellt in einer ISO9001 zertifizierten Anlage und CE-zertifiziert, erfüllt das WHS-L1 internationale Standards für Sicherheit und Leistung. Ihr robustes und zuverlässiges Design macht sie zu einem unverzichtbaren Werkzeug für die Handhabung von Fotomasken in Halbleiterfertigungsanlagen und Maskenwerkstätten und gewährleistet einen kontaminationsfreien Betrieb.
