Diese EPI-Kassette sorgt für gleichmäßige Abstände für eine gleichmäßige thermische Exposition und ist darauf ausgelegt, hohe Temperaturen und chemische Belastungen zu überstehen.

Vorteile:

• Hitze- und chemische Beständigkeit: Entwickelt, um den extremen Temperaturen in Diffusions- und Oxidationsprozessen standzuhalten.
• Präzise Handhabung: Sorgt dafür, dass Wafer stabil bleiben, um Verunreinigungen oder Fehlstellungen zu vermeiden.
• Reinraumkompatibilität: Geringe Partikelerzeugung zur Aufrechterhaltung der Prozessreinheit.

Material: Polyetherimid – PEI (Ultem):

• Hochtemperaturbeständigkeit und mechanische Festigkeit.
• Geringe Ausgasung und minimale Verunreinigung, was für Reinraumumgebungen entscheidend ist.

Aluminium:

• Bietet strukturelle Unterstützung und Hitzebeständigkeit.