Anträge

• Allgemeine Verwendung: Vakuumstäbe werden verwendet, um Wafer aufzunehmen und von einem Ort zum anderen zu transportieren, ohne Partikel hinzuzufügen.
• Sortieren: Für manuelle Wafer-Sortieranwendungen ermöglichen Vakuumstäbe dem Bediener, Wafer sicher und präzise innerhalb einer übergeordneten Charge zu bewegen. Sie können auch verwendet werden, um Chargen miteinander zu kombinieren, Testwafer hinzuzufügen und beschädigte Wafer bei Bedarf zu ersetzen.
• Inspektion- Bediener können Vakuumstäbe verwenden, um einen Wafer aus einer übergeordneten Charge herauszuziehen und ihn unter spezieller Beleuchtung auf Defekte zu untersuchen. Damit wird sichergestellt, dass der Prozess erfolgreich war und der Wafer die geforderten Spezifikationen erfüllt

Der WHS-V5-GND ist ein Vakuum-Erdungsadapter. WHS-Vakuumstabbaugruppen sind mit statisch dissipativen Materialien konstruiert und sollten ordnungsgemäß an eine Erdungsquelle angeschlossen werden, um Substrate vor einem ESD-Ereignis zu schützen. Der WHS-V5-GND ist ein doppelter Schlauch-Barb-Adapter mit Erdungsdraht zur Unterstützung der Installation eines Vakuumstabs. Der Installateur verbindet die Staubsaugerleitung der Hausanlage auf eine Seite, das Staubsaugerkabel auf die gegenüberliegende Seite und verbindet das 500 mm grüne Erdungskabel mit einer Erdungsquelle in der Nähe der Arbeitsstation.