Anträge
- Versand-/Wareneingangsbereich: Wafer-Transfers werden verwendet, um eingehende Wafer von einer Versandkassette zu einer WIP-Produktionskassette zu bewegen.
- Epitaktischer Bereich : Wafer-Transfers werden verwendet, um eingehende Wafer von einer Versandkassette zu einer WIP-Produktions- oder Spezial-EPI-Prozesskassette zu bewegen.
- Bereiche der Nasschemie : Wafer-Transfers werden verwendet, um Wafer zwischen einer WIP-Produktionskassette und einer Teflon-PFA-Kassette für den Nassprozess zu bewegen, wenn sie in Bereiche der Nasschemie gelangen.
- Brennflächen für thermische Prozesse : Wafer-Transfers werden verwendet, um Wafer zwischen einer WIP-Produktionskassette und Metall- oder Quarzkassetten zu bewegen, wenn sie in thermische Prozessbereiche gelangen
- Mess- und Prüfbereiche : Wafer-Transfers können auch in Mess- und Inspektionsbereichen auftreten, in denen Wafer analysiert und auf Defekte und andere Qualitätskontrollmaßnahmen untersucht werden.
- Sonden- und Prüfbereiche : Wafer-Transfers werden verwendet, um eingehende Wafer von einer Versandkassette auf eine WIP-Produktionskassette zu verschieben.
- Wafer-Flipping/Invertieren: Wafer-Transfers werden verwendet, um Wafer von einer Kassette in eine andere zu bewegen, die um 180° invertiert wurde. In der Halbleiterfertigung gibt es verschiedene Prozesse, bei denen die Rückseite eines Wafers bearbeitet wird. Diese Prozesse können unter anderem Rückseitenlithographie, Ätzen, Abscheiden und Kleben umfassen. Um diese Prozesse durchzuführen, muss der Hersteller den Wafer so umdrehen, dass die Rückseite nach oben zeigt.
Der spezielle Transfer ist ein präziser manueller horizontaler Wafer-Schlittentransfer, um Wafer sicher zwischen zwei SEMI-konformen Wafer-Kassetten zu übertragen. Er verfügt über eine eigene Stufe, die es ermöglicht, Wafer-Kassetten mit h-Bar unten (Standard) oder h-Bar oben (umgekehrte Orientierung) zu platzieren. Dadurch kann der Transfer verwendet werden, um Wafer um 180° in der RECEIVED-Kassette neu auszurichten. Kompatibel mit hochprofiligen Kunststoffverfahren, Metallkassetten und den meisten Versandkassetten mit H-BAR. Verfügt über ein glattes, dienstfreies Schiebeschienensystem, das mit fortschrittlichen beschichteten Stangen und UHMW-Lagerblöcken konstruiert ist. Antistatische, abriebende und chemisch resistente Materialien. ISO 4 Reinraum-kompatibel
