Anträge

• Versand-/Wareneingangsbereich: Wafer-Transfers werden verwendet, um eingehende Wafer von einer Versandkassette zu einer WIP-Produktionskassette zu bewegen.
   
• Epitaktischer Bereich : Wafer-Transfers werden verwendet, um eingehende Wafer von einer Versandkassette zu einer WIP-Produktions- oder Spezial-EPI-Prozesskassette zu bewegen.
   
• Bereiche der Nasschemie : Wafer-Transfers werden verwendet, um Wafer zwischen einer WIP-Produktionskassette und einer Teflon-PFA-Kassette für den Nassprozess zu bewegen, wenn sie in Bereiche der Nasschemie gelangen.
   
• Brennflächen für thermische Prozesse : Wafer-Transfers werden verwendet, um Wafer zwischen einer WIP-Produktionskassette und Metall- oder Quarzkassetten zu bewegen, wenn sie in thermische Prozessbereiche gelangen
   
• Mess- und Prüfbereiche : Wafer-Transfers können auch in Mess- und Inspektionsbereichen auftreten, in denen Wafer analysiert und auf Defekte und andere Qualitätskontrollmaßnahmen untersucht werden.
   
• Sonden- und Prüfbereiche : Wafer-Transfers werden verwendet, um eingehende Wafer von einer Versandkassette auf eine WIP-Produktionskassette zu verschieben.
   
• Wafer-Flipping/Invertieren: Wafer-Transfers werden verwendet, um Wafer von einer Kassette in eine andere zu bewegen, die um 180° invertiert wurde. In der Halbleiterfertigung gibt es verschiedene Prozesse, bei denen die Rückseite eines Wafers bearbeitet wird. Diese Prozesse können unter anderem Rückseitenlithographie, Ätzen, Abscheiden und Kleben umfassen. Um diese Prozesse durchzuführen, muss der Hersteller den Wafer so umdrehen, dass die Rückseite nach oben zeigt.

Die WHS-T3-Serie ist ein präzises manuelles horizontales Wafer-Transfersystem, das darauf ausgelegt ist, Wafer sicher zwischen zwei SEMI-konformen Kassetten zu bewegen.

Erhältlich in Standardmodellen für 76 mm, 100 mm, 150 mm und 200 mm Wafer, ist der WHS-T3 kompatibel mit Hoch- und Flachprofil-Kunststoff-Prozesskassetten, Metallkassetten und den meisten Versandkassetten mit H-BAR. Dieses System gewährleistet reibungslose und effiziente Wafer-Transfers in Halbleiterfertigungsumgebungen, einschließlich Versand/Empfang, Epitaxial, Nasschemie und thermischer Verarbeitung.

Der WHS-T3 verfügt über ein wartungsfreies, präzises Schiebeschienensystem mit fortschrittlichen beschichteten Stangen und UHMW-Lagerblöcken, was einen zuverlässigen und reibungslosen Betrieb gewährleistet. Der WHS-T3 besteht aus antistatischen, abriebfesten und chemisch beständigen Materialien und ist ISO 4 (FS209E Klasse 10) Reinraum-kompatibel und gewährleistet einen optimalen Waferschutz während der Handhabung und Transferprozesse.

Für ein spezielleres Wafer-Handling bietet der WHS-T3 optionale Modelle für Wafer-Flipping und Invertieren, erhältlich für 150-mm- und 200-mm-Wafer. Diese Modelle sind mit einer maßgeschneiderten Stufe konstruiert, um Kassetten sowohl in Standard-H-Bar-down- als auch in umgekehrter H-Bar-up-Orientierung aufzunehmen, was eine präzise Wafer-Inversion während des Transfers ermöglicht.

Hergestellt in einer ISO9001 zertifizierten Anlage und CE-zertifiziert, bietet die WHS-T3-Serie eine robuste, zuverlässige Lösung für manuelle Wafer-Transfers, die Wafersicherheit und Handhabungspräzision in verschiedenen Halbleiterfertigungsprozessen gewährleistet.