Die M2-Serie AMC ist eine komplett aus Aluminium bestehende 76 mm (3") Metallkassette mit 25 Steckplätzen zur Verarbeitung von Halbleiterwafern in einer thermischen Umgebung bis zu 250° C.
Die M2-Serie AMC ist eine komplett aus 100 mm (4") große Metallkassette mit 25 Steckplätzen für die Verarbeitung von Halbleiterwafern in einer thermischen Umgebung bis zu 250° C.
Die M2-Serie AMC ist eine Vollaluminium-Metallkassette mit 150 mm (6") 25 Slots zur Verarbeitung von Halbleiterwafern in einer thermischen Umgebung bis zu 250° C.
Die M2-Serie AMC ist eine Ganzaluminium-Metallkassette mit 25 Schlitzen für die Verarbeitung von Halbleiterwafern in einer thermischen Umgebung, bis zu 250° C.