Auswahl der Maske

WHS stellt Werkzeuge der nächsten Generation für die Handhabung von Lithographie-Fotomasken her, die entwickelt wurden, um die Partikelkontamination zu minimieren, elektrostatische Entladungen (ESD) zu verhindern und die Ergonomie für Techniker zu verbessern. Ganz gleich, ob Sie mit Absehen oder Masken arbeiten, WHS bietet eine Lösung, die Ihre Anforderungen an die Handhabung von Fotomasken erfüllt. Wenn Sie ein maßgeschneidertes Produkt benötigen, kann WHS eine maßgeschneiderte Lösung erstellen, die genau Ihren Anforderungen entspricht.

Die WHS-L Serie zur Handhabung von Fotomasken umfasst drei Modelle, die jeweils für spezifische Anwendungen konzipiert sind. Der WHS-L1 verfügt über ein gekapseltes Getriebe mit synchronisierten Greifern für die präzise Handhabung von Fotomasken und Absehen von der seitlichen Tangentialkante – ideal für Szenarien, in denen Genauigkeit und minimaler Kontakt unerlässlich sind. Der WHS-L2 ist für horizontale Offset-Anwendungen konzipiert und bietet Flexibilität, wenn der WHS-L1 nicht geeignet ist. Die WHS-L3 wurde für die Handhabung fortschrittlicher EUV-Masken (Extreme Ultraviolet) entwickelt und verfügt über vier flache Greifer, die nahtlos mit den EUV-Absehenkapseln verbunden sind und so Stabilität und Sicherheit gewährleisten.

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