Metall-Kassetten

WHS bietet ein umfassendes Sortiment an Halbleiter-Wafer-Metall-Kassetten, die für den Einsatz in thermischen Reinraumanwendungen konzipiert sind. Diese präzisionsgefertigten Kassetten wurden entwickelt, um die strengen Anforderungen von Hochtemperatur-Verarbeitungsumgebungen, der Waferautomatisierung und Transferprozessen zu erfüllen. Alle WHS-Kassetten entsprechen den SEMI-Standards und gewährleisten so die Kompatibilität mit Industriestandardgeräten und eine hohe Leistung in verschiedenen Anwendungen.

Die WHS-M-Serie umfasst vier verschiedene Modelle, die auf unterschiedliche Bedürfnisse zugeschnitten sind. Das Flaggschiff WHS-M1 (350° C) ist eine fortschrittliche Vollaluminiumkassette, die in Konfigurationen mit 25 Steckplätzen (Standard) und 13 Steckplätzen (dünne Wafer) erhältlich ist. Sein Profil entspricht Industriestandard-Kunststoffkassetten und gewährleistet eine nahtlose Integration in Automatisierungs- und Transfersysteme. Die WHS-M2 (250 °C) ist eine ältere Aluminiumkassette mit PTFE-Teflon-Waferstopps, die sich ideal als Ersatz für ältere CVD-Prozesswerkzeuge eignet und eine zuverlässige Leistung bietet.

Für Hochtemperaturanwendungen ist der robuste WHS-M3 komplett aus Edelstahl gefertigt und hält Temperaturen von bis zu 550 °C stand. Die WHS-M4 bietet zwei 300-mm-Kassettenoptionen: eine aus Aluminium und eine aus Edelstahl, was Flexibilität basierend auf spezifischen Prozessanforderungen ermöglicht. WHS-Metallkassetten werden mit hochpräziser Fertigung und fortschrittlichen Materialien entwickelt und bieten die Haltbarkeit und Zuverlässigkeit, auf die sich Halbleiterhersteller verlassen können.

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