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Material
Edelstahl Edelstahl
Größe des Wafers
100 mm (4")
150 mm (6")
200 mm (8")
76 mm (3")
Schlitze
25
Oben/Unten
Stirnwand / H-Stange
Griff
Kein Griff
Max. Betriebstemperatur
Bis zu 550°C

Prozesskassetten aus Edelstahl

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Kassette aus Edelstahl (WHS-M3)
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Kassette aus Edelstahl (WHS-M3)
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Edelstahl-Kassette (WHS-M3) 76 mm (3")Edelstahl-Kassette (WHS-M3) 100 mm (4")Edelstahl-Kassette (WHS-M3) 150 mm (6")
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