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Kategorie
Manueller Wafer-Transfer
(2)
Automatischer Wafer-Transfer
(1)
Sicherer Wafer-Transfer
(1)
Wafer-Sortierer
(1)
Material
Anleitungen: Antistatisches Polyoxymethylen | Bühne: Natürliches Polypropylen
Größe des Wafers
100 mm (4")
150 mm (6")
200 mm (8")
76 mm (3")
System
Automatisches System
Schlitze
Bis zu 25
Material Arm
Antistatisches Polyoxymethylen
Bezeichnung des Reinraums
ISO 4 (FS209E Klasse 10)

Automatischer Wafer-Transfer

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Automatische Objektträgerübergabe (WHS-T2)
WHS-T2
Automatischer Wafer-Transfer
WHS
Automatische Objektträgerübergabe (WHS-T2)
Der LCT1AS12 der T2-Serie ist ein präziser automatischer horizontaler Bulk-Wafer-Slide-Transfer für den sicheren Transfer von 76-mm- bis 200-mm-Wafern zwischen zwei SEMI-konformen
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4 Optionen:
Automatische Objektträgerübertragung (WHS-T2) 76 mm (3")Automatische Objektträgerübergabe (WHS-T2) 100 mm (4")Automatische Objektträgerübergabe (WHS-T2) 150 mm (6")
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