Die T3-Serie ist ein präziser manueller horizontaler Wafer-Slide-Transfer für den sicheren Transfer von Wafern zwischen zwei SEMI-konformen Wafern von 76 mm bis zu 200 mm
Der T3 Special Transfer ist ein präziser manueller horizontaler Wafer-Slide-Transfer für den sicheren Transfer von Wafern zwischen zwei SEMI-konformen Waferkassetten