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Kategorie
Manueller Wafer-Transfer
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Automatischer Wafer-Transfer
(1)
Sicherer Wafer-Transfer
(1)
Wafer-Sortierer
(1)
Material
Anleitungen: Antistatisches Polyoxymethylen /PEEK | Bühne: Eloxiertes Aluminium
Stufe: Antistatisches Polyurethan mit Aluminiumsockel | Leitfäden: Antistatisches Polyoxymethylen / PEEK
Größe des Wafers
100 mm (4")
150 mm (6")
200 mm (8")
300 mm (12")
76 mm (3")
System
Automatisches System
Schlitze
Bis zu 25
Material Stäbe
Antistatische Kohlefaser
Bezeichnung des Reinraums
ISO 3 (Klasse 1 FS209E)

Sicherer Wafer-Transfer

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SafeGuard Wafer-Transfer (WHS-T1)
WHS-T1
Sicherer Wafer-Transfer
WHS
SafeGuard Wafer-Transfer (WHS-T1)
Die T1-Serie LCT2 ist eine fortschrittliche SafeGuard-Bulk-Wafer-Übertragung für 76 mm bis 200 mm Wafer.
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5 Optionen:
SafeGuard-Wafer-Transfer (WHS-T1) 300 mm (12")SafeGuard Wafer-Transfer (WHS-T1) 76 mm (3")SafeGuard Wafer-Transfer (WHS-T1) 100 mm (4")
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