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Kategorie
Manueller Wafer-Transfer
(2)
Automatischer Wafer-Transfer
(1)
Sicherer Wafer-Transfer
(1)
Wafer-Sortierer
(1)
Material
Endeffektor: Antistatische Kohlefaser
Größe des Wafers
100 mm (4")
150 mm (6")
200 mm (8")
Doppelgröße: 150 + 200 mm (6"-8")
System
Automatisches System
Schlitze
Bis zu 26
Bezeichnung des Reinraums
ISO 3 (Klasse 1 FS209E)

Wafer-Sortierer

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2-Kassetten-Automatisierungssortierer mit OCR (WHS-T4)
WHS-T4
Wafer-Sortierer
WHS
2-Kassetten-Automatisierungssortierer mit OCR (WHS-T4)
100 mm (4"), 150 mm (6") oder 200 mm (8") Wafer
Automatisch
25 Steckplätze
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4 Optionen:
2-Kassetten-Automatisierungssortierer mit OCR (WHS-T4) 100 mm (4")2-Kassetten-Automatisierungssorter mit OCR (WHS-T4) 150 mm (6")2-Kassetten-Automatisierungssortierer mit OCR (WHS-T4) Dual Size 150 + 200 mm (6"- 8")
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