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Kategorie
Manueller flacher Aligner
(2)
Automatischer flacher Aligner
(1)
Manueller Notch-Aligner
(1)
Automatischer Notch-Aligner
(1)
Material
Antistatisches Polyoxymethylen
Größe des Wafers
150 mm (6")
200 mm (8")
System
Automatisches System
Schlitze
Bis zu 25
Bis zu 26
Material-Walze
Antistatisches EPDM
Genauigkeit der Ausrichtung
Besser als +/- 1°
Bezeichnung des Reinraums
ISO 3 (Klasse 1 FS209E)

Automatischer Notch-Aligner

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Automatischer Notch-Aligner (WHS-A3)
WHS-A3
Automatischer Notch-Aligner
WHS
Automatischer Notch-Aligner (WHS-A3)
Der automatische Wafer-Notch-Aligner der WHS-A3-Serie ANFEZ mit fortschrittlicher Technologie zum Ausrichten von 150- oder 200-mm-Kerbwafern.
Automatisches System
Wafer für 25 Slot-Kassetten
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2 Optionen:
Automatischer Notch-Aligner (WHS-A3) 150 mm (6")Automatischer Notch-Aligner (WHS-A3) 200 mm (8")