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Kategorie
Manueller flacher Aligner
(2)
Automatischer flacher Aligner
(1)
Manueller Notch-Aligner
(1)
Automatischer Notch-Aligner
(1)
Material
Antistatisches Polyoxymethylen
Größe des Wafers
150 mm (6")
200 mm (8")
System
Manuelles System
Schlitze
Bis zu 25
Bis zu 26
Material-Walze
Antistatisches EPDM
Genauigkeit der Ausrichtung
Besser als +/- 1°
Bezeichnung des Reinraums
ISO 4 (Klasse 10 FS209E)

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Manueller Notch-Aligner (WHS-A4)
WHS-A4
Manueller Notch-Aligner
WHS
Manueller Notch-Aligner (WHS-A4)
Der manuelle Wafer-Notch-Aligner der A4-Serie NFEZ mit Advanced-Technologie für die Ausrichtung von 150 oder 200 mm Wafern von oben/unten.
Manuelles System
Wafer für 25 Slot-Kassetten
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2 Optionen:
Manueller Notch-Aligner (WHS-A4) 150 mm (6")Manueller Notch-Aligner (WHS-A4) 200 mm (8")