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WHS bietet ein umfangreiches Sortiment an branchenführenden Wafergreifern, die für eine Vielzahl von Anforderungen an die Waferhandhabung in Reinräumen ausgelegt sind. Unser Sortiment umfasst vier Modelle, die jeweils auf die spezifischen Anforderungen für das spezielle Wafer-Handling zugeschnitten sind.

Die Modelle G1 und G2 sind für die Kantengriffbehandlung ausgelegt und gewährleisten einen stabilen und gleichmäßigen Griff auf empfindlichen Wafern wie optischen, MEMS-, Doppeltopografie- und anderen empfindlichen Substraten. Das Modell G3 mit seinem einzigartigen 3-Greifer-Design eignet sich gut für das Handling einzelner Wafer in chemischen Umgebungen und kann auch für Wafer-Rettungsszenarien eingesetzt werden. Unser neuestes G4-Modell wurde für die Handhabung von Taiko-Wafern® aus dem kleinen Randringbereich entwickelt und erfüllt die anspruchsvollsten Wafer-Handhabungsaufgaben.

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