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(3)Material
Aluminium
Größe des Wafers
100 mm (4")
150 mm (6")
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76 mm (3")
Schlitze
13
25
Oben/Unten
Stirnwand / H-Stange
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Griff
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Mit Griff
Ja
Max. Betriebstemperatur
Bis zu 350°C
Oberflächengüte
Chemisch Nickel (EN)
Hart, klar eloxiert (HC)
Prozesskassetten aus Aluminium
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WHS-M1-13STECKPLÄTZE
Aluminium-Kassetten
WHS
13 Steckplätze
Flacher Steckplatz
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WHS-M1-3Zoll
Aluminium-Kassetten
WHS
Die MCF der WHS-M1-Serie ist eine 100 mm (4") Vollaluminium-Metallkassette mit 25 Schlitzen für die Verarbeitung von Halbleiterwafern in einer thermischen Umgebung von bis zu 350° C.
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WHS-M1-3inch-DE
Aluminium-Kassetten
WHS
Die MCF der WHS-M1-Serie ist eine 100 mm (4") Vollaluminium-Metallkassette mit 25 Schlitzen für die Verarbeitung von Halbleiterwafern in einer thermischen Umgebung von bis zu 350° C.
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WHS-M1-4Zoll
Aluminium-Kassetten
WHS
Die MCF der WHS-M1-Serie ist eine 100 mm (4") Vollaluminium-Metallkassette mit 25 Schlitzen für die Verarbeitung von Halbleiterwafern in einer thermischen Umgebung von bis zu 350° C.
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WHS-M1-6Zoll
Aluminium-Kassetten
WHS
Die MCF der WHS-M1-Serie ist eine 150 mm (6") Vollaluminium-Metallkassette mit 25 Schlitzen für die Verarbeitung von Halbleiterwafern in einer thermischen Umgebung von bis zu 350° C.
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WHS-M1-8Zoll
Aluminium-Kassetten
WHS
Bei der MCF der WHS-M1-Serie handelt es sich um eine 200 mm (8") Vollaluminium-Metallkassette mit 25 Schlitzen und optional einem Endwandgriff für die Verarbeitung von Halbleiterwafern in einem thermischen
























