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Kategorie
Manueller flacher Aligner
(2)
Automatischer flacher Aligner
(1)
Manueller Notch-Aligner
(1)
Automatischer Notch-Aligner
(1)
Material
Antistatisches Polyoxymethylen
Größe des Wafers
076 mm (3")
100 mm (4")
150 mm (6")
200 mm (8")
Multisize 76,100,125,150 mm
System
Automatisches System
Schlitze
Bis zu 25
Material-Walze
Antistatisches EPDM
Genauigkeit der Ausrichtung
Besser als +/- 1°
Bezeichnung des Reinraums
ISO 3 (Klasse 1 FS209E)

Automatischer flacher Aligner

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Automatischer Wafer Flat Aligner (WHS-A1)
WHS-A1
Automatischer flacher Aligner
WHS
Automatischer Wafer Flat Aligner (WHS-A1)
Der automatische Wafer-Flat-Aligner der WHS-A1-Serie AFEZ mit fortschrittlicher Technologie für die Ausrichtung von 76 mm bis 150 mm Wafern.
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5 Optionen:
Automatischer Wafer Flat Aligner (WHS-A1) 76 mm (3")Automatischer Wafer Flat Aligner (WHS-A1) 100 mm (4")Automatischer Wafer Flat Aligner (WHS-A1) 150 mm (6")
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