Anträge:

• Ausrichtung- Wafer-Flat- und Notch-Aligner werden in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um sicherzustellen, dass die Wafer bei verschiedenen Prozessen wie Lithographie, Abscheidung und Ätzen korrekt ausgerichtet werden. Der flache Aligner hat eine Kerbe oder eine Abflachung, die der Ausrichtung der Kristallgitterstruktur des Wafers entspricht. Dies ist von entscheidender Bedeutung, da die Ausrichtung des Wafers die Leistung und Funktionalität des endgültigen Halbleiterbauelements beeinflusst.
• Integrität der Partie - Aligner werden auch in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um Bediener bei der Durchführung von Chargenintegritätsprüfungen zu unterstützen. Durch Drehen des Wafer-Ritzes, bei dem es sich um die Identifikationsmarkierung am Rand des Wafers handelt, damit er für den Bediener sichtbar ist, kann der Bediener überprüfen, ob die richtige Charge von Wafern in ein Produktionswerkzeug geladen wird. Dies ist ein wichtiger Schritt, um Fehler zu vermeiden und eine gleichbleibende Produktqualität zu gewährleisten.
• Kantenprüfung - Wafer-Flat- und Notch-Aligner werden auch in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um Wafer auf Kantenfehler zu untersuchen. Dieses Makroinspektionsverfahren wird in der Regel unter einer Lichtquelle durchgeführt und beinhaltet die Untersuchung der Kanten des Wafers auf Chips, Risse oder andere Unvollkommenheiten. Dies ist ein wichtiger Schritt, um einen Waferbruch bei nachfolgenden Verarbeitungsschritten zu verhindern, da Kantenfehler den Wafer schwächen und zum Bruch oder Ausfall führen können. Durch den Einsatz von Wafer-Flat- und Notch-Alignern zur Identifizierung und Inspektion dieser Defekte können Bediener Maßnahmen ergreifen, um die weitere Verarbeitung fehlerhafter Wafer zu verhindern und kostspielige Produktionsverzögerungen zu vermeiden.

Die WHS-A3-Serie ist ein hochmoderner automatischer Wafer-Notch-Aligner, der für die präzise Bulk-Ausrichtung von 200 mm (8") Notch-Wafern um ±1° ausgelegt ist. Dieses fortschrittliche System verfügt über eine präzise Kerbauffangkammbaugruppe in Kombination mit einer ESD-sicheren Polyurethanwalze, um eine zuverlässige und sichere Handhabung empfindlicher Halbleitermaterialien wie SiC, GaN und GaAs zu gewährleisten. Es ist ideal für kritische Prozesse wie Lithographie, Abscheidung und Ätzen.

Über eine passwortgeschützte Touchscreen-Oberfläche können Bediener auf mehrere Ausrichtungsprogramme zugreifen, darunter den Standardmodus, die Ausrichtung von Dünn-/Verbindungswafern und den Kanteninspektionsmodus. Der WHS-A3 bietet eine außergewöhnliche Flexibilität bei der Anpassung an verschiedene Anforderungen an das Wafer-Handling bei höchster Präzision.

Der WHS-A3 besteht aus statisch ableitenden Materialien und bietet robusten ESD-Schutz, indem er sowohl den Wafer als auch die Kassette erdet und so vor elektrostatischer Entladung während der Handhabung schützt. Dieses System wurde für den Betrieb in Reinraumumgebungen nach ISO 3 (Klasse 1 FS209E) entwickelt und erfüllt die höchsten Standards für die Kontaminationskontrolle.

Der WHS-A3 unterstützt auch wichtige Aufgaben wie Chargenintegritätsprüfungen und Kanteninspektionen und stellt sicher, dass Bediener Wafer-Defekte frühzeitig im Prozess erkennen und beheben können. Er wurde mit Blick auf eine einfache Wartung entwickelt und verfügt über eine Schnellkupplungsrollenbaugruppe für eine schnelle und einfache Reinigung.

Der WHS-A3 wird in einer ISO9001- und CE-zertifizierten Anlage hergestellt und erfüllt strenge internationale Standards und ist damit die ideale Lösung für die hochpräzise Waferausrichtung in anspruchsvollen Halbleiterproduktionsumgebungen.