Anträge:
- Ausrichtung- Wafer-Flat- und Notch-Aligner werden in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um sicherzustellen, dass die Wafer bei verschiedenen Prozessen wie Lithographie, Abscheidung und Ätzen korrekt ausgerichtet werden. Der flache Aligner hat eine Kerbe oder eine Abflachung, die der Ausrichtung der Kristallgitterstruktur des Wafers entspricht. Dies ist von entscheidender Bedeutung, da die Ausrichtung des Wafers die Leistung und Funktionalität des endgültigen Halbleiterbauelements beeinflusst.
- Integrität der Partie - Aligner werden auch in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um Bediener bei der Durchführung von Chargenintegritätsprüfungen zu unterstützen. Durch Drehen des Wafer-Ritzes, bei dem es sich um die Identifikationsmarkierung am Rand des Wafers handelt, damit er für den Bediener sichtbar ist, kann der Bediener überprüfen, ob die richtige Charge von Wafern in ein Produktionswerkzeug geladen wird. Dies ist ein wichtiger Schritt, um Fehler zu vermeiden und eine gleichbleibende Produktqualität zu gewährleisten.
- Kantenprüfung - Wafer-Flat- und Notch-Aligner werden auch in der Halbleiterindustrie eingesetzt, um Wafer auf Kantenfehler zu untersuchen. Dieses Makroinspektionsverfahren wird in der Regel unter einer Lichtquelle durchgeführt und beinhaltet die Untersuchung der Kanten des Wafers auf Chips, Risse oder andere Unvollkommenheiten. Dies ist ein wichtiger Schritt, um einen Waferbruch bei nachfolgenden Verarbeitungsschritten zu verhindern, da Kantenfehler den Wafer schwächen und zum Bruch oder Ausfall führen können. Durch den Einsatz von Wafer-Flat- und Notch-Alignern zur Identifizierung und Inspektion dieser Defekte können Bediener Maßnahmen ergreifen, um die weitere Verarbeitung fehlerhafter Wafer zu verhindern und kostspielige Produktionsverzögerungen zu vermeiden.
Die WHS-A4-Serie ist ein präziser manueller Wafer-Notch-Aligner, der für die Ausrichtung von oben und unten mit 150 mm (6") Wafern entwickelt wurde. Ideal für Halbleiteranwendungen wie Lithografie, Abscheidung und Ätzen, stellt dieser Ausrichter sicher, dass die Wafer-Notch-Ausrichtung für kritische Prozesse genau ausgerichtet ist. Er wurde entwickelt, um den Anforderungen der modernen Halbleiterproduktion gerecht zu werden, und ist mit SEMI-konformen 200-mm-Waferkassetten kompatibel.
Mit einer federbelasteten Notch-Catch-Kamm und einer antistatischen Polyurethanwalze sorgt die WHS-A4 für sanften Waferkontakt, schützt Waferkanten und minimiert die Partikelbildung und maximiert den Ertrag. Sein ergonomisches Design umfasst ein Drehknopf- und Hebelsystem, das die Ermüdung des Bedieners bei manuellen Ausrichtungen reduziert.
Der WHS-A4 besteht aus statisch dissipativen Materialien und bietet einen robusten ESD-Schutz, indem er sowohl den Wafer als auch die Kassette erdet, um Schäden an empfindlichen Halbleiterbauelementen zu verhindern. Der für ISO 4 (Klasse 10 FS209E) Reinraumumgebungen konzipiert ist und erfüllt strenge Standards zur Kontaminationskontrolle.
Die Wartung wird durch die Schnellabschalter-Walzenbaugruppe vereinfacht, was eine schnelle und effiziente Reinigung ermöglicht. Zusätzlich zur Ausrichtung unterstützt der WHS-A4 Bestandsprüfungen und Kanteninspektionen, sodass Betreiber Waferfehler frühzeitig erkennen und kostspielige Produktionsverzögerungen vermeiden können.
Hergestellt in einer ISO9001- und CE-zertifizierten Einrichtung, erfüllt das WHS-A4 strenge internationale Standards für Qualität und Leistung, was es zur idealen Lösung für präzise manuelle Wafer-Ausrichtung in Halbleiter-Reinraumumgebungen macht.
