Die WHS-A4-Serie ist ein präziser manueller Wafer-Notch-Aligner, der für die Ausrichtung von 200 mm (8") Wafern oben und unten entwickelt wurde. Ideal für Halbleiteranwendungen wie Lithografie, Abscheidung und Ätzen, stellt dieser Ausrichter sicher, dass die Wafer-Notch-Ausrichtung für kritische Prozesse genau ausgerichtet ist. Er wurde entwickelt, um den Anforderungen der modernen Halbleiterproduktion gerecht zu werden, und ist mit SEMI-konformen 200-mm-Waferkassetten kompatibel.

Mit einer federbelasteten Notch-Catch-Kamm und einer antistatischen Polyurethanwalze sorgt die WHS-A4 für sanften Waferkontakt, schützt Waferkanten und minimiert die Partikelbildung und maximiert den Ertrag. Sein ergonomisches Design umfasst ein Drehknopf- und Hebelsystem, das die Ermüdung des Bedieners bei manuellen Ausrichtungen reduziert.

Der WHS-A4 besteht aus statisch dissipativen Materialien und bietet einen robusten ESD-Schutz, indem er sowohl den Wafer als auch die Kassette erdet, um Schäden an empfindlichen Halbleiterbauelementen zu verhindern. Der für ISO 4 (Klasse 10 FS209E) Reinraumumgebungen konzipiert ist und erfüllt strenge Standards zur Kontaminationskontrolle.

Die Wartung wird durch die Schnellabschalter-Walzenbaugruppe vereinfacht, was eine schnelle und effiziente Reinigung ermöglicht. Zusätzlich zur Ausrichtung unterstützt der WHS-A4 Bestandsprüfungen und Kanteninspektionen, sodass Betreiber Waferfehler frühzeitig erkennen und kostspielige Produktionsverzögerungen vermeiden können.

Hergestellt in einer ISO9001- und CE-zertifizierten Einrichtung, erfüllt das WHS-A4 strenge internationale Standards für Qualität und Leistung, was es zur idealen Lösung für präzise manuelle Wafer-Ausrichtung in Halbleiter-Reinraumumgebungen macht.